真空ポンプ
ターボ分子ポンプ
ハイブリッド方式
高速回転翼ローターと固定翼のステーター組み合わせた高真空ポンプです。 クリーンな真空が得ることができます。
ターボ分子ポンプ
磁気浮上方式
磁気ベアリングにより浮上したロータシャフトを接触のない状態で回転させる方式により、極低振動とメンテナンスフリーを実現しています。
真空排気システム
ファイファーバキューム社の真空パーツで構成された高品質な排気システムです。多彩な構成が選択可能です。
ドライポンプ
スクロール型
スクロール回転体が互いに接触・回転することにより、気体を移送する方式の真空ポンプです。オイルフリーのクリーンな真空が得られます。
ドライポンプ
ダイアフラム型
複数のダイアフラム（膜）を動作させ、気体を移送する方式の真空ポンプです。オイルフリーのクリーンな真空が得られます。
ロータリーポンプ
オイルを利用した機械的真空ポンプです。 メンテナンス性・耐久性に優れます。
ドライポンプ
ルーツ型
低真空および中真空アプリケーションで、 用途に適したバッキングポンプと組合わせて使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。
ドライポンプ
多段ルーツ型
多段のルーツ方式ローター(メカニカルブースター)により期待を移送する方式の真空ポンプです。オイルフリーのクリーンな真空が得られます。
ポンプ・真空計コントローラー
Pfeiffer Vacuum社製品用の表示・制御ユニットです。RS-485通信プロトコルに標準で対応しています。
分析機器
真空計
真空 (圧力) の値を測定する計測機器の製品情報です。
質量分析計
熱電子衝撃型イオン源の四重極質量分析計です。残留ガス分析用の基本ユニットと真空排気システムを統合した大気圧ガス分析用があります。
ヘリウムリーク
ディテクタ
真空を作る上で、大きな懸念事項であるリーク(漏れ)のチェックに用いる機器です。
CCIT
医薬品包装の漏れ完全試験(CCIT)用製品の情報ページです。
ASTON™
半導体、産業機器、医薬品製造プロセスのリアルタイムモニタ用に開発さた、ガス測定に特化した四重極型質量分析装置です。
コンポーネント
真空バルブ
真空向けバルブの製品情報ページです。
真空コンポーネント
真空チャンバー・ベローズ・ガスケットなど、高品質な真空部品の紹介ページです。
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