ドライポンプ(多段ルーツ型)

　ファイファーバキューム社の多段型ドライポンプは、さまざまなアプリケーションや市場向けにクリーンでドライな真空を実現します。
　小型ドライポンプのACPシリーズは、ターボポンプのバックポンプとしての役割も担っています。
　A 100 L /A 200 L は、ロードロックおよびトランスファー チャンバー用のコンパクトなドライポンプとして、半導体工場での使用を想定し開発されています。
　A3、A4、ADHシリーズのドライポンプは、半導体・コーティング業界のプロセスポンプとして数多く使用されています。
　ファイファーバキューム社は様々な用途や市場向けにお客様のご用途に合った最適なポンプをご提供致します。

アプリケーション

特長

　モジュール内には摩擦部分を持たない機構により、オイルフリーでクリーンな真空を提供し、長期安定性と高い信頼性を実現しています。
　ACPシリーズは高流量ガスバラストポートを備え、大量の凝縮性蒸気を送り出すことが可能です。
　ご要望の排気速度によりACP 15/ 28/ 40/ 90からお選びいただけます。

アプリケーション

特長

　ツールまたは工場のサブフロアに直接設置するように設計されたA100L/A200Lシリーズのドライポンプは、頻繁な高速ポンプダウンサイクルを可能にします。
　ロードロックおよびトランスファーチャンバー用途だけでなく、その他の非腐食性アプリケーションに最適です。 200 m3/h クラスの A 200 L と 100 m3/h クラスの A 100 Lをラインナップし、 あらゆるタイプのハイスループットアプリケーションに対応します。

アプリケーション

特長

　工業用途や研究開発用途だけでなく、粒子やオイル汚染が問題になる場合に最適です。
　ACP120G / ACG600Gドライポンプには、微腐食性のプロセスや凝縮性媒体を排出するためのパージガスポートが装備されています。

アプリケーション

特長

　A3P シリーズのドライポンプは、内部は腐食性ガスに強い構造となっており、温度センサーと不活性ガスフラッシングを備えています。
　中負荷プロセスで高い信頼性を持ちながら、低ノイズ・低振動という特徴を有しています。またCEおよびSemi S2規格に準拠し、クリーンルームでの使用に適しています。

アプリケーション

特長

　A4H シリーズのドライポンプは、高いガススループットと改善された粉体耐性を備えており、半導体およびコーティング産業における要求の厳しいプロセスに最適です。 副産物の蓄積や亀裂を防ぐために、低温および高温の動作温度をカバーする温度管理機能が装備されています。 ポンプは、Semi S2 および UL 61010 規格に準拠しています。
　エネルギー効率の高い多段ルーツ技術と高効率モーターにより、A4 シリーズは、プロセス操作での省電力を実現しています。 アイドルモード機能と回転速度調整機能と組み合わせることで、運用コストの削減にも寄与します

アプリケーション

特長

　　ADH シリーズの最大の利点の 1 つは、水素排気速度が速いことです。これにより、プロセスステップ間のチャンバー排気が高速になります。 許容流量が大きいため、ADH ポンプは最も要求の厳しいプロセス仕様に適しています。 最適化された設計のおかげで、ポンプはこのレベルのポンプ性能で市場で最高の消費電力を提供します。
　ポンプには、二重の温度制御水冷回路と統合されたホット N2 パージが装備されており、粉体の蓄積や凝縮を防ぎます。また 強力なモーターは大量の粉体を許容することができ、優れた再起動能力を有しています。
　ADH シリーズの専用設計と材質によって、ポンプ内部の大きな内圧応力を処理することができ、水素やシランなどの爆発性ガスを使用する用途で最高レベルの安全性が確保されています。

アプリケーション

特長

　A4H シリーズのドライポンプは、高いガススループットと改善された粉体耐性を備えており、半導体およびコーティング産業における要求の厳しいプロセスに最適です。 副産物の蓄積や亀裂を防ぐために、低温および高温の動作温度をカバーする温度管理機能が装備されています。 ポンプは、Semi S2 および UL 61010 規格に準拠しています。
　エネルギー効率の高い多段ルーツ技術と高効率モーターにより、A4 シリーズは、プロセス操作での省電力を実現しています。 アイドルモード機能と回転速度調整機能と組み合わせることで、運用コストの削減にも寄与します

アプリケーション

特長

　A4HおよびA4Xシリーズがもつすべての技術的利点を備えたA4XNシリーズは、耐腐食性のさらなる強化ため、プロセスガスと接触するすべての部品にニッケルコーティングを施しています。 A4H および A4X モデルと比較し、ポリエッチングなど非常に腐食性の高いアプリケーションでの寿命が大幅に向上します。
　エネルギー効率の高いマルチステージルーツテクノロジーに基づき、A4XN シリーズは、最も腐食性の高い用途向けに設計された600 ～ 2,900 m3/h の異なる排気速度の要求にお応えします