■ASTON™質量分析装置とは
ASTON™ シリーズは、半導体、産業機器、医薬品製造等のプロセスのリアルタイムモニタ用に開発さた、ガス測定に特化した四重極型質量分析装置です。フットプリント、操作性、メンテナンス性、耐久性を重視して設計されています。
使い勝手や価格を重視し、機能を絞り込んだモデルと、二種類のイオン源を搭載したハイエンドモデルを取り揃えています。目的やアプリケーションに応じて、電子イオン化(EI )イオン源を搭載した標準モデルと、 誘導結合プラズマ( ICP )イオン源を搭載したハイエンドモデル、さらに凍結乾燥プロセス向けモデルも提供可能です。
また、フィルタリング部を双極形電極にすることで、小型ながらイオンの透過率が向上し、SEM を搭載することにより、同シリーズの従来製品よりも高感度なデータを取得することができます。
■ASTON™シリーズのキー・アプリケーション
- エッチング、エンドポイントモニタ
- チャンバー汚染モニタ
- ガス除害システムの残留ガス分析
- 環境モニタ
- 発酵プロセスモニタ
- 天然ガス分析モニタ
- 凍結乾燥プロセスモニタ
- セキュリティ、安全分野
- 真空装置のリークモニタ
■製品ラインナップ
ASTON™ プラットフォームは、高速・高感度質量分析計と独自のソフトウェアから構成され、複雑な半導体製造プロセスのin-situで必要とされる定量的かつ迅速なガス分析を可能にします。ASTON™ プラットフォームは、スループットと歩留まりを最大化するために、化学的に有意な実用的知見をリアルタイムで提供します。1つのツールで複数のレガシーツールを置き換えることができます。
ASTON™ Impact ～ガス分析及び半導体プロセスモニタ向け～
■電子イオン化イオン源搭載型、コンパクトな高速・高感度質量分析計
「ASTON™ Impact」は、ガス分析に特化したプロセスガスモニタリングに好適な高感度質量分析装置です。コストパフォーマンスと使い勝手を追求した 電子イオン化イオン源モデルです。省スペースで、大気圧領域からガスをモニタリングすることが可能です。
小型ながらm/z285 まで拡張したマスレンジに加え、 プロセスガスモニタリングの質量分析装置としては、他社を凌ぐ高感度測定に成功しました。電子イオン化イオン源、二次電子増倍管を搭載した四重極型の小型センサーと、ポンプをパッケージングした省スペース設計になっています。
ASTON™ Plasma ～半導体プロセスモニタ向け～ ※2024年中頃リリース予定
■プラズマイオン源搭載型、in-situ計測のための高速・高感度質量分析計
「ASTON™ Plasma」は、ガス分析に特化した四重極型質量分析装置です。 電子イオン化イオン源とフィラメント交換不要な誘導結合プラズマイオン源の両方を標準搭載 しており、フィラメント交換によるダウンタイムの軽減に貢献します。
「ASTON™ Plasma」は、より多くの半導体アプリケーションに対応できるように、従来製品からマスレンジを m/z285 まで拡張しました。プロセスガスモニタリングの質量分析装置としては、他社を凌ぐ高感度測定に成功しています。アトナープ社従来機同様、大気圧環境下からのサンプリングも可能です。
半導体製造プロセス、工業製品製造プロセスのリアルタイムプロセスモニタとして使用いただけます。
ASTON™ LyoSentinel ー凍結乾燥プロセスモニタ向け～ ※受注生産品
■非侵襲的なマルチチャンネル技術、凍結乾燥プロセスのリアルタイム測定
「ASTON™ LyoSentinelは」、非侵襲的なマルチチャンネル技術により、凍結乾燥プロセスのリアルタイム測定が可能です。
- 残留水蒸気を測定して正確な終点検知を行い、凍結乾燥プロセスにおけるケーキと二次乾燥の形成を最適化します。
- 微量熱伝導KT5/シリコンオイルの汚染を検出し、歩留まり低下を最小限に抑えます。
- インラインの真空漏れを検出し、次のバッチのための「生産準備」までの時間を短縮します。
■in-situプロセスモニタリング
- 主要な製薬プロセス分析技術の専門家から支持されています。
- 21 CFR part 11に準拠
- 凍結乾燥プロセスのモニタリングに特化した設計
- 独自の設計による小型高圧質量分析装置
- 検出し、保護する。シリコンとKT5オイルの検出とシステム保護
- スタンドアロンまたは統合された操作のために設計されています。
- 搭載された使用例
主要評価項目および副次的乾燥評価項目
シリコン/KT5オイルの高速検出
チャンバーの健康状態の確認 – リークとコンタミのチェック
プロセス転送
ユーザーによるカスタマイズが可能 - 凍結乾燥機の機械学習を実現するエッジデバイス/クラウド対応統合システム
- フィールドサービス可能
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