ターボ分子ポンプ排気システム

　排気システムに搭載される真空ポンプ各種の内部構造や動作原理の解説動画がございます。
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　真空基礎講座では、ターボ分子ポンプを始めとする各種真空機器(各種真空ポンプ、真空計、質量分析計等)の内部構造や動作原理、特徴など、真空技術の基礎について動画を用いて解説しています。オンデマンド（録画）配信ですので、いつでも好きな時間に視聴することができます。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

・バックポンプとの最適な組み合わせにより、幅広い用途に対応
・モジュラー設計により、用途に合わせて簡単にカスタマイズ可能
・個々の部品へのアクセスが容易なため、高いメンテナンス性
・ドライブエレクトロニクスを統合したことで、制御システムの追加が不要
・堅牢な設計により、長寿命と高い信頼性を実現
・安全弁（オプション）を選択可能
・ファイファー社製真空計を直接接続可能

　排気システムの中で最もコンパクトなモデルです。
少量の排気に最適です。

【組み合わせ可能なポンプ】
・ターボ分子ポンプ：HiPace^®30,80,300,300H
・バックポンプ：MVP015-2,MVP015-4,MVP030-3

　高真空および超高真空用途に適しており、 ドライ方式とオイル方式のバックポンプから選択可能です。

【組み合わせ可能なポンプ】
・ターボ分子ポンプ：HiPace^®80,300,300H,400,700,700H
・バックポンプ(ドライ)：MVP040,MVP070
・バックポンプ(オイル)：DUO3M,DUO6M

　あらゆる高真空用途に適しており、バックポンプとしてドライ方式とオイル方式から選択可能です。
　HiCube Proは特に、ポンプダウン時間が非常に速いことが特徴です。

【組み合わせ可能なポンプ】
・ターボ分子ポンプ：HiPace^®80,300,300H,400,700,700H
・バックポンプ(ドライ)：ACP15,28/HiScroll6,12,18
・バックポンプ(オイル)：2010SD,2021SD/DUO11M,DUO20M