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■ターボ分子ポンプ(ハイブリッド方式)

■ロータリーポンプ

■スクロールポンプ

■真空計

■ヘリウムリークディテクタ

■ユニバーサルコントローラーOmniControl®

■質量分析計(QMG250,GSD350シリーズ)

■質量分析計(QMG220,GSD320,QMG700シリーズ)

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