ターボ分子ポンプ(ハイブリッド方式)－よくあるご質問 

・真空基礎講座のページにて、各種真空機器(各種真空ポンプ、真空計、質量分析計など)の内部構造、動作原理等について
動画を用いて解説しております。下記ボタンをクリックすると、専用ページへ移動いたします。

　ターボ分子ポンプの内部構造、動作原理については下記回をご視聴ください。
・第2回 ターボ分子ポンプ前編：内部構造の説明 (動画内 14:58～)
・第3回 ターボ分子ポンプ後編：排気原理の説明 (動画内 6:10～)

・標準的なドライブユニット、TC110およびTC400とターボ分子ポンプとの標準的な接続方法は以下となります。

■ドライブユニットTC110搭載のターボ分子ポンプ

■ドライブユニットTC400搭載のターボ分子ポンプ

・標準的なターボ分子ポンプ、HiPace^®80およびHiPace^®700と空冷ファンの標準的な接続方法は以下となります。

■HiPace80向け空冷ファン接続方法

・HiPace^®80への空冷ファン取付の流れ
　① 空冷ファン付属のネジを用い、空冷ファンをポンプへ取り付けます。
　② 接続ケーブル(D-Subコネクタ)側面のアクセサリーポートA1に、空冷ファンのケーブルコネクタを差し込みます。

■HiPace700向け空冷ファン接続方法

・HiPace^®700への空冷ファン取付の流れ
　① 空冷ファン付属のネジを用い、空冷ファンをポンプへ取り付けます。
　② TC400ドライブユニット側面のアクセサリーポートA1に
空冷ファンのケーブルコネクタを差し込みます。

・標準的なドライブユニット、TC110およびTC400と自動ベントバルブの標準的な接続方法は以下となります。

■ドライブユニットTC110搭載のターボ分子ポンプ

・TC110への自動ベントバルブ取付の流れ
　①ベントポートに取付けられているベントバルブ(手回し式スクリュー)を取外します。
　②ベントポートへ自動ベントバルブを取り付けます。
　③接続ケーブル(D-Subコネクタ)のアクセサリーポートB1に、自動ベントバルブのケーブルコネクタを差し込みます。

■ドライブユニットTC400搭載のターボ分子ポンプ

・TC400への自動ベントバルブ取付の流れ
　①ベントポートに取付けられているベントバルブ(手回し式スクリュー)を取外します。
　②ベントポートへ自動ベントバルブを取り付けます。
　③TC400のアクセサリーポートB1に、自動ベントバルブの
コネクタを差し込みます。

・Parameter「023 motor pump」がOFFになっていて回転しないケースあります。
　コントローラーの故障やベアリング破損の可能性もありますので、弊社サービスセンターまでご連絡ください。

・ディスプレイの左下のボタンを長押ししてください。ポンプに問題が無い場合は、「Warnig」が消えて、正常に使用できるようになります。

・メーカー純正ベントバルブ使用の場合に於いて、ポンプの寿命に有意な差は確認されておりませんが、末永くご使用いただく為、遅延ベントを実施されることをお勧めします。

・古いバージョンのTC110には、パラメーターの023番が実装されていないモデルも存在します。
※ACタイプの小型ダイヤフラムポンプを単独運転させたい場合は、電源ケーブルをダイヤフラムポンプに直接挿す等で稼働させて下さい。

・コネクタピンは修理できません。有償で新品をご案内いたしますのでご連絡下さい。正しい角度で挿し込まなかった場合、本ピンは折れやすいので、接続時のお取り扱いにはご注意下さい。

・旧世代ののコンパクトシリーズターボ分子ポンプ（Compact Turbo）TMH/U064,071,260,261,520,521等のサービス・サポートは、基本的に終了となっておりますが、お問い合わせを頂いた時点でメーカーより取り寄せ可能な部品で対応できる範囲でのサポートを行っております。
　弊社と致しましては包括的に捉え、可能な限り後継機への置き換えを推奨しております。

※一部の機種にて、軸受けベアリング部品の取り寄せが可能な場合は、標準的なオーバーホールを実施させていただきます。
※オーバーホール実施後の保証は致しかねますことを、ご了承いただいた上での対応となります。
※ご送付前に必ずお問い合わせフォーム等でご相談ください。

・水蒸気の多い気体の測定後や、長時間保管後の再起動時には、ダイヤフラムポンプに水分が溜まり、排圧の上昇が原因でターボ分子ポンプの回転数が上昇しない場合があります。

・以下のステップに沿ってポンプ内の水分を排出させてください。

※装置の構成により手順は異なります。以下の作業はお客様の責にて実施ください。また、ご不明な点は弊社担当者までご相談ください。
※コントローラーの故障やベアリング破損の可能性もありますので、その場合は弊社サービスセンターまでご連絡ください。

　1. 装置を停止して、作業に不要の装置の電源はOFFにします。
　2. ターボ分子ポンプを単独で起動を停止できる場合は停止の設定をします。
　(PV社の場合、通常パラメーター①-023 Motor PumpをOFF)
　3. 使用しているダイヤフラムポンプにガスバラスト機能がある場合は機器のマニュアルを参照し、ガスバラストを開(手動・自動)にします。
　4. ガスバラスト機能が無い場合、何かしらの手段にて大気もしくは乾燥ガスを導入（ベントバルブやガス導入バルブを流用）します。
　（この場合、埃等を吸い込まないように十分な対策を実施してください。）
　5. ダイヤフラムポンプのみを動作させて15分～1時間待機します。
　（機構上ターボ分子ポンプを停止できない装置の場合、ポンプ・ベントを数回繰り返します。）
　6. ガスバラストを閉にします。
　7. 変更した設定を元に戻し、装置を通常の手順で起動します。

・内蔵されているポンプの種類により、操作方法が異なります。
　以下を参照してガスバラストを開放してください。
（注）シャシ内部にアクセスする場合、怪我等にご注意ください。

MVP015－2AC型

・MVP015－2AC型の場合
　左図43番のスリーブ部を”I”の位置（下方向）にスライドさせると周囲の空気がポンプ内部に導入されます。水分除去が目的の場合、少なくとも30分～1時間はこの状態で動作させてください。
　ガス導入を終了させる場合、スリーブ部を”O”の位置（上方向）にスライドさせ、元の位置に戻してください。

・ターボ分子ポンプの各パーツに貼られているラベル情報を参照願います。
　複数のラベルある場合はそれぞれの記載内容をご確認の上、必要に応じてご連絡ください。

(記載例)
Mod:製品名称
P/N:製品詳細形式
S/N:製品固有のシリアル番号

・製品に貼られているラベルは剥がさず、そのままご使用願います。特に、以下のラベルを保証期間中に剥がされた場合、保証対象外となりますこと、ご了承ください。

※こちらにない製品の場合、弊社サービスセンターにご連絡ください。

・以下のURLより弊社サービスセンターにご連絡ください。
https://www.hakuto-vacuum.jp/service-support/

　送付先および修理ご依頼時のフォーム等もご確認いただけます。