QMG250 PrismaPro® 残留ガス分析計

・多彩なモジュールを選択可能

　モジュラーデザインにより、産業用途に合わせた最適な組み合わせを選択できます。産業・環境分析・研究開発・半導体生産・コーティング技術等の分野に適応。多彩なオプションでアプリケーション選択肢の幅が広がります。

・最新世代のソフトウェア PV MassSpec

　PrismaPro®には、新開発のPV MassSpec ソフトウェアが標準添付。軽快な動作と測定・分析の操作が容易であることに加え、全ての測定データをエクスポートするための使いやすいプラットフォームとしても機能します。

・オープンなプログラミングインターフェイス

　HTMLベースのプログラミングインターフェイス(JSON API)を通して、PrismaPro ®に直接アクセスすることも可能です。加えて、デジタルおよびアナログ入出力、イーサネットなどの幅広いインターフェイスにより、システムへの統合も容易に行えます。また、同時にLabView用ドライバも無償で提供されます。

・イオンソースの選択

　標準のオープン型イオンソースは、堅牢な設計と高い検出感度を兼ね備えているため、ほとんどの残留ガス分析に最適です。
　さらにガスストリームに適したクローズドイオン源(発売予定)や、分子流に適したクロスビームイオン源、超高真空の測定には低脱ガスタイプのグリッド型イオンソースが選択できます。

・フィラメント材質の選択

　フィラメントの材質はイットリアコートイリジウムもしくはタングステンから選択可能です。
　一般的に大気成分や高濃度の酸素・水蒸気下の測定にはイットリアコートイリジウムフィラメントが適します。水素や炭化水素の濃度高い場合はタングステンフィラメントを選択してください。
　フィラメントの選択は複雑な要件が重なるため、材質は将来の交換時に変更することもできます。

・検出器の選択

　質量分析計に使用される検出器は、真空チャンバーと排気システムの設計に基づく真空システムで達成できる圧力範囲から選択されます。
　高い真空領域(<^-4Pa)ではファラデー検出器(Faraday)のみで十分な場合が多いですが、さらなる高真空下では非常に低い密度のガスを検出するために、電流を増倍できる二次電子増倍管(EM)オプションが必要となります。
　PrismaPro®に搭載される二次電子増倍管は、必要に応じてファラデー検出器と切り替えて使用できます。

・質量範囲の選択

　従来の真空装置では、窒素、酸素、アルゴン、水蒸気などの雰囲気ガスや、一般に軽量の炭化水素の混入が主な測定対象でした。
　これらのガスを検出するためには、1～100原子質量単位(amu)の範囲で優れた質量分離を示す四重極型質量分析計が理想的ですが、長鎖の炭化水素など、より重いガスやその成分を検出する必要がある場合は、1～200uまたは1～300uのマスフィルターについても選択することが出来ます。

・I/Oオプション

　PrismaPro®は標準で1系統のアナログ入力、2系統のデジタル入力、1系統のリレー出力をバックパネルに装備。I/Oオプションで入出力のさらなる拡張と、ファイファーバキューム社の代表的な真空計が直接接続できるコネクタが増設できます。