デジラインシリーズ真空計
幅広い測定レンジをカバーする、豊富な真空測定子ラインナップ(10-9 Pa~5.5x106Pa )
コンパクトなデザイン(エレクトロニクス内蔵 → シリアル通信接続で専用コントローラー不要)
■ファイファーバキューム社デジラインゲージの特長
・エレクトロニクス内蔵 → 専用コントローラー不要、省スペース
・2 種類のフィールドバスコンバーター
(Profibusコンバーター、DeviceNetコンバーター)
→ システムコントラローラーで制御可能
・RS485 ケーブルでゲージ間シリアル接続可能
・PC、PLC へのデータ転送可能なコントローラー
→ データ管理が容易で、コンパクト
・新たにゲージ本体にディスプレイ表示可の機種追加
■製品ラインナップ
■デジタルピエゾゲージ CPT200
特長
デジタルインターフェース専用全圧真空計
PC・PLCで直接真空計をコントロール可能
・ピエゾゲージタイプ
・測定レンジ:100Pa~2×105Pa
・測定値はガス種に影響を受けない
・耐腐食性
・Profibusによるインターフェース可能
■デジタルピラニゲージ PPT200
特長
デジタルインターフェース専用全圧真空計
PC・PLCで直接真空計をコントロール可能
・ピラニゲージタイプ
・測定レンジ:1×10-2Pa~1×105Pa
・高精度
・Profibusによるインターフェース可能
■デジタルピエゾ・ピラニゲージ RPT200
特長
デジタルインターフェース専用全圧真空計
PC・PLCで直接真空計をコントロール可能
・二測定原理の真空計が一つに
(ピエゾゲージ/ピラニゲージ複合タイプ)
・測定レンジ:1×10-2Pa ~1.2×10 5Pa
・全測定範囲において高精度
・ロードロックでの使用に最適
・Profibusによるインターフェース可能
■デジタルピラニ・BAゲージ HPT200
特長
デジタルインターフェース専用全圧真空計
PC・PLCで直接真空計をコントロール可能
・二測定原理の真空計が一つに
(ピラニゲージ/BAゲージ複合タイプ)
・測定レンジ:5×10-8Pa ~1×105Pa
・高精度・長寿命(2個のフィラメントを切替可能)
・Profibusによるインターフェース可能
■デジタルピラニ・CCゲージ MPT200
特長
デジタルインターフェース専用全圧真空計
PC・PLCで直接真空計をコントロール可能
・二測定原理の真空計が一つに
(ピラニゲージ/CCゲージ複合タイプ)
・測定レンジ:1×10-7Pa~1×105Pa
・ Profibusによるインターフェース可能
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