デュアルステージロータリーベーンポンプ

 

 ファイファーバキューム社製デュアルステージ式ロータリーポンプは、使用するガスの種類を問わず低真空から中真空までの領域で極めて優れた排気特性と信頼性を併せ持つポンプです。
 1.3 ~ 300 m3/h の排気速度範囲及び特徴的なラインナップを持ち、全てのアプリケーションに最適なご提案が可能です。

■製品ラインナップ

DUOLINE™シリーズ

 DUOLINEシリーズは、全ての低-中真空アプリケーションをカバーする排気速度 1.3 ~ 300 m 3 / hのバリエーションで構成されています。
 内蔵された油圧制御式セーフティバルブや、マグネットカップリング機構(Mシリーズのみ)によって高い安全性が確保されています。

DUO3M
DUO3M
特長

・1.3~ 300m3/hの幅広いラインナップ
・コンパクトかつ高性能
・内蔵された油圧制御式セーフティバルブによりオイル上がりを防止
・独自のマグネットカップリング機構により、オイル漏れのない安全・低アフターサービスコストでご使用頂けます。(Mシリーズのみ)
・ガスバラストバルブを標準搭載し、凝縮性ガスの排気に対応します。
・非鉄金属材料を含みません。

アプリケーション

・電子ビーム溶接
・真空炉
・ガス回収
・ルーツポンプ、ターボ分子ポンプの補助ポンプ等

PASCALシリーズ

 PASCALシリーズは、排気速度5 ~ 22 m 3 / hの特徴ある4種のバリエーションで構成されています。
 全世界で50万台以上の実績を持つ非常に高い信頼性のポンプで、生産・研究・分析全てのアプリケーションに対応します。

Pascal2021SD
PASCAL2021SD
特長

・小型・軽量・低オイルミスト
・幅広いアプリケーションに対応する特徴的なラインナップ

バリエーション

・SDバージョン
 非腐食性プロセス向け標準ポンプ
・Iバージョン
 分析機器向け、静音・低振動モデル
・C1バージョン
 SUS材を多用した腐食性ガス対応ポンプ
 ※使用条件についてはお問い合わせ下さい。
・C2バージョン
 フォンブリンオイル仕様、バブリングシステム搭載。
 各種半導体製造プロセス等のヘビープロセス向け

アプリケーション

・真空乾燥・脱気
・真空含浸
・真空炉

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