本ページには、PfeifferVacuum社製 各種真空機器のマニュアルをまとめております。
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コントローラー類 (ポンプ、真空計各種)

ターボ分子ポンプ

HiPaceシリーズ

本体マニュアル

ドライブユニット

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TC80該当ポンプ:HiPace80Neo日本語
TC110該当ポンプ:HiPace30 / 80 / 300 / 300H日本語
TC400該当ポンプ:HiPace300 / 350 / 400 / 450 / 700 / 700H / 800 / 800H日本語
TM700該当ポンプ:HiPace300M / 700M / 800M日本語

ATHシリーズ

・本体マニュアル

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ATH500M本体マニュアル日本語
ATH1603M - 2303M本体マニュアル日本語
ATH2804M - 3204M本体マニュアル日本語

排気システム - HiCubeシリーズ

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HiCubeEcoシリーズ本体マニュアル日本語
HiCubeClassicシリーズ本体マニュアル日本語
HiCubeProシリーズ本体マニュアル日本語
HiCubeNeoシリーズ本体マニュアル日本語

ロータリーポンプ

DUOシリーズ

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DUO1.6 / 1.6M本体マニュアル日本語
DUO3 / 3M本体マニュアル日本語
DUO6 / 6M本体マニュアル日本語
DUO11 / 11M本体マニュアル日本語
DUO20M本体マニュアル日本語
DUO35 / 35M / 65 / 65M本体マニュアル日本語
DUO125 / 125M本体マニュアル日本語
DUO255 / 255M本体マニュアル日本語

Pascalシリーズ

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Pascal 2005~2021 SD/ I / C1/ C2本体マニュアル日本語
メンテナンスマニュアル日本語

ドライポンプ各種 (HiScroll / ACP / MVP / Okta)

スクロールポンプ HiScroll シリーズ

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HiScroll6 / 12 / 18本体マニュアル日本語

多段ルーツポンプ ACPシリーズ

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ACP15 / 28 / 40本体マニュアル日本語

ダイアフラムポンプ MVPシリーズ

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MVP015-2DC / 015-4AC本体マニュアル日本語
MVP030-3DC本体マニュアル日本語
MVP040-2 / 070-3 / 070-3C本体マニュアル日本語

ルーツポンプ Oktaシリーズ

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Okta300 / 300M / 600 / 600M本体マニュアル日本語
Okta1000 / 1000M本体マニュアル日本語

真空計

Active Line シリーズ

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IKR360 / IKR361 / PKR360 / PKR361真空計 本体マニュアル日本語
PKR251真空計 本体マニュアル日本語
PKR261真空計 本体マニュアル日本語
PBR360真空計 本体マニュアル日本語
IKR270真空計 本体マニュアル日本語
TPR280 / 281真空計 本体マニュアル日本語
TPR270 / 271真空計 本体マニュアル日本語
APR250 / 260 / 262 / 265 / 266 / 267真空計 本体マニュアル日本語
CMR361 / 362 / 363 / 364 / 365真空計 本体マニュアル日本語
CMR371 / 372 / 373 / 374 / 375真空計 本体マニュアル日本語
PCR280真空計 本体マニュアル日本語
IMR265真空計 本体マニュアル日本語
TPG201 / 202真空計 本体マニュアル日本語

Digi Line シリーズ

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MPT200真空計 本体マニュアル日本語
HPT200真空計 本体マニュアル日本語
CPT200真空計 本体マニュアル日本語
PPT200真空計 本体マニュアル日本語
RPT200真空計 本体マニュアル日本語
CCT361 / 362 / 363 / 364 / 365真空計 本体マニュアル日本語
CCT371 / 372 / 373 / 374 / 375真空計 本体マニュアル日本語

Modul Line シリーズ

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TPR010 / 017 / 018真空計 本体マニュアル日本語
IKR050真空計 本体マニュアル日本語

ヘリウムリークディテクター

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ASM310本体マニュアル日本語
ASM340本体マニュアル日本語
ASM390本体マニュアル日本語

四重極質量分析計