本ページには、PfeifferVacuum社製 各種真空機器のマニュアルをまとめております。
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コントローラー類 (ポンプ、真空計各種)
| 製品 | 詳細 / 備考 | ダウンロード |
|---|
| OmniControlシリーズ | 真空ポンプ/真空計 兼用コントローラー | 日本語 |
| オプション : Gauge / IO 用マニュアル | 日本語 |
| オプション : USB / μSDポート用マニュアル | 日本語 |
| DCU002 / 110 / 180 / 310 / 400 | HiPaceシリーズ用コントローラー | 日本語 |
| TCP350 | HiPaceシリーズ(TCP350仕様)用コントローラー | 日本語 |
| TPG361 / TPG362 | 真空計 ActiveLineシリーズ用コントローラー (1ch / 2ch) | 日本語 |
| TPG366 | 真空計 ActiveLineシリーズ用コントローラー (6ch) | 日本語 |
| TPG500 | 真空計 ModulLineシリーズ用コントローラー | 日本語 |
| 測定ボード | TPG500 / TPG300用測定ボード | 日本語 |
ターボ分子ポンプ
HiPaceシリーズ
本体マニュアル
| 製品 | 詳細 / 備考 | ダウンロード |
|---|
| HiPace10 | 本体マニュアル | 日本語 |
| HiPace30 | 本体マニュアル | 日本語 |
| HiPace80 | 本体マニュアル | 日本語 |
| HiPace80Neo | 本体マニュアル | 日本語 |
| HiPace300 | 本体マニュアル | 日本語 |
| HiPace300H | 本体マニュアル | 日本語 |
| HiPace300M | 本体マニュアル | 日本語 |
| HiPace350 | 本体マニュアル | 日本語 |
| HiPace450 | 本体マニュアル | 日本語 |
| HiPace700 | 本体マニュアル | 日本語 |
| HiPace700H | 本体マニュアル | 日本語 |
| HiPace700M | 本体マニュアル | 日本語 |
| HiPace800 | 本体マニュアル | 日本語 |
| HiPace800M | 本体マニュアル | 日本語 |
ドライブユニット
| 製品 | 詳細 / 備考 | ダウンロード |
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| TC80 | 該当ポンプ:HiPace80Neo | 日本語 |
| TC110 | 該当ポンプ:HiPace30 / 80 / 300 / 300H | 日本語 |
| TC400 | 該当ポンプ:HiPace300 / 350 / 400 / 450 / 700 / 700H / 800 / 800H | 日本語 |
| TM700 | 該当ポンプ:HiPace300M / 700M / 800M | 日本語 |
ATHシリーズ
・本体マニュアル
| 製品 | 詳細 / 備考 | ダウンロード |
|---|
| ATH500M | 本体マニュアル | 日本語 |
| ATH1603M - 2303M | 本体マニュアル | 日本語 |
| ATH2804M - 3204M | 本体マニュアル | 日本語 |
排気システム - HiCubeシリーズ
| 製品 | 詳細 / 備考 | ダウンロード |
|---|
| HiCubeEcoシリーズ | 本体マニュアル | 日本語 |
| HiCubeClassicシリーズ | 本体マニュアル | 日本語 |
| HiCubeProシリーズ | 本体マニュアル | 日本語 |
| HiCubeNeoシリーズ | 本体マニュアル | 日本語 |
ロータリーポンプ
DUOシリーズ
| 製品 | 詳細 / 備考 | ダウンロード |
|---|
| DUO1.6 / 1.6M | 本体マニュアル | 日本語 |
| DUO3 / 3M | 本体マニュアル | 日本語 |
| DUO6 / 6M | 本体マニュアル | 日本語 |
| DUO11 / 11M | 本体マニュアル | 日本語 |
| DUO20M | 本体マニュアル | 日本語 |
| DUO35 / 35M / 65 / 65M | 本体マニュアル | 日本語 |
| DUO125 / 125M | 本体マニュアル | 日本語 |
| DUO255 / 255M | 本体マニュアル | 日本語 |
Pascalシリーズ
| 製品 | 詳細 / 備考 | ダウンロード |
|---|
| Pascal 2005~2021 SD/ I / C1/ C2 | 本体マニュアル | 日本語 |
| メンテナンスマニュアル | 日本語 |
ドライポンプ各種 (HiScroll / ACP / MVP / Okta)
スクロールポンプ HiScroll シリーズ
| 製品 | 詳細 / 備考 | ダウンロード |
|---|
| HiScroll6 / 12 / 18 | 本体マニュアル | 日本語 |
多段ルーツポンプ ACPシリーズ
| 製品 | 詳細 / 備考 | ダウンロード |
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| ACP15 / 28 / 40 | 本体マニュアル | 日本語 |
ダイアフラムポンプ MVPシリーズ
| 製品 | 詳細 / 備考 | ダウンロード |
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| MVP015-2DC / 015-4AC | 本体マニュアル | 日本語 |
| MVP030-3DC | 本体マニュアル | 日本語 |
| MVP040-2 / 070-3 / 070-3C | 本体マニュアル | 日本語 |
ルーツポンプ Oktaシリーズ
| 製品 | 詳細 / 備考 | ダウンロード |
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| Okta300 / 300M / 600 / 600M | 本体マニュアル | 日本語 |
| Okta1000 / 1000M | 本体マニュアル | 日本語 |
真空計
Active Line シリーズ
| 製品 | 詳細 / 備考 | ダウンロード |
|---|
| IKR360 / IKR361 / PKR360 / PKR361 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
| PKR251 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
| PKR261 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
| PBR360 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
| IKR270 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
| TPR280 / 281 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
| TPR270 / 271 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
| APR250 / 260 / 262 / 265 / 266 / 267 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
| CMR361 / 362 / 363 / 364 / 365 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
| CMR371 / 372 / 373 / 374 / 375 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
| PCR280 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
| IMR265 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
| TPG201 / 202 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
Digi Line シリーズ
| 製品 | 詳細 / 備考 | ダウンロード |
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| MPT200 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
| HPT200 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
| CPT200 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
| PPT200 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
| RPT200 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
| CCT361 / 362 / 363 / 364 / 365 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
| CCT371 / 372 / 373 / 374 / 375 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
Modul Line シリーズ
| 製品 | 詳細 / 備考 | ダウンロード |
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| TPR010 / 017 / 018 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
| IKR050 | 真空計 本体マニュアル | 日本語 |
ヘリウムリークディテクター
| 製品 | 詳細 / 備考 | ダウンロード |
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| ASM310 | 本体マニュアル | 日本語 |
| ASM340 | 本体マニュアル | 日本語 |
| ASM390 | 本体マニュアル | 日本語 |
四重極質量分析計
| 製品 | 詳細 / 備考 | ダウンロード |
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| PrismaPro QMG250 | 本体マニュアル | 日本語 |
| GSD350 | 本体マニュアル | 日本語 |
| PrismaPro QMG250 / GSD350 | ソフトウェア(Mass spec) マニュアル | 日本語 |
| PrismaPlus QMG220 | ソフトウェア(Quadera) マニュアル | 日本語 |