質量分析計（Mass Spectrometer)

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質量分析計とは

真空(圧力)の質を計測する計測器で、分圧真空計とも呼ばれます。真空中でどのようなガスが、どの程度含まれているかを知る事が出来ます。質量分析計は、主に下記 3 種類に大別されます。
A. 磁場偏向型
B. 四重極型
C. 飛行時間型

ファイファーバキューム社では、四重極型質量分析計を、ご提供させていただきます。
四重極質量分析計の原理、下記商品説明よりさらに詳しい商品説明に関して

ファイファーバキューム社製質量分析計の特徴

業界トップレベルの基本性能
ワールドワイドサービス → 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能

ラインナップ ›
PrismaPro QMG250/質量分析計
OmniStar & ThermoStar GSD350 /ベンチトップガスモニター
HiQuad QMG700/質量分析計

PrismaPro QMG250 / 四重極質量分析計

モジュラー構成により多彩なアプリケーションに適合
コンパクトかつハイパフォーマンス
多様なインターフェイスによるシンプルなシステム連携
Webブラウザ簡易測定機能
高感度・低ノイズ・クラス最高の高ダイナミックレンジ
最速1ms(Dwell time)の高速測定
アナログ・デジタル入力、デジタル出力を標準装備（オプションで拡張可）
新PV MassSpecソフトウェア
　マトリクス方式の定量分析
　シーケンス作成・内部計算機能
　温度情報等の外部信号の取り込み
　スレッシュホールド機能により外部機器を制御

QMG250	F1	F2	F3	M1	M2	M3
QMG250
マスレンジ	1-100	1-200	1-300	1-100	1-200	1-300
ディテクタ	ファラデー
ディテクタ	-			EM
検出限界(Pa)^※ ファラデー / C-SEM	4×10-11	5×10-11	7×10-11	-
検出限界(Pa)^※ ファラデー / C-SEM	-			3×10-13	4×10-13	5×10-13
感度：Ar(A/Pa)^※ ファラデー	5×10-6	4×10-6	3×10-6	5×10-6	4×10-6	3×10-6
許容最大圧力(Pa) ファラデー / C-SEM	5×10-2
許容最大圧力(Pa) ファラデー / C-SEM	-			5×10-3	5×10-3	5×10-3
隣接ピーク寄与率 Mass40/41(ppm)	< 10	< 20	< 50	< 10	< 20	< 50
分析管ベーキング温度	最大300℃ （動作時最大200℃、EM使用時最大150℃）

※仕様はオープン型イオンソース選択時

Prisma型質量分析装置の推薦メンテナンス間隔

メンテナンス内容	メンテナンス間隔			ユーザー作業※
	6ヶ月	12ヶ月	24ヶ月	可否
空冷ファンフィルター清掃	○	○	○	○
フィラメント交換	-	△	○	○
分析管オーバーホール	-	-	○	×
EM交換	-	-	△	×

(付属周辺装置)	12ヶ月	24ヶ月	48ヶ月	可否
ターボ分子ポンプオイルリザーバー交換(HiPace80型)	-	-	○	○
ターボ分子ポンプオーバーホール(HiPace80型)	-	-	○	×
メンブレンポンプオーバーホール(015・020型)	△	○	○	×
ロータリーポンプオイル交換	○	○	○	○
ロータリーポンプオーバーホール	-	○	○	×
真空計オーバーホール	-	○	○	×

○:メンテナンス推薦
△:劣化時(メンブレンポンプ:稼働合計時間MVP015型半年以上、MVP020型1年以上)
注:推薦メンテナンス間隔は稼働時間・使用するガス種・圧力により異なりますので参考値となります。
※:ユーザーによる作業は事前のトレーニングが必要です。

OmniStar & ThermoStar GSD350 / ベンチトップガスモニター

専用設計の2段減圧方式により、偏析の防止と高速なレスポンスを実現
最大200℃、最大350℃（オプション）の温度制御ヒータ付きキャピラリー
専用設計のイオン源の採用により、少量の導入ガスを効率良くイオン化
省スペース、軽量設計、取り外し可能なタッチパネル装備
最速1ms(Dwell time)の高速測定
校正ユニット内蔵（オプション）、耐腐食性バージョン（オプション）
新PV MassSpecソフトウェア
　マトリクス方式の定量分析
　シーケンス作成・内部計算機能
　温度情報等の外部信号の取り込み
　スレッシュホールド機能により外部機器を制御

GSD350	OmniStar	ThermoStar

測定質量数	1-100
	1-200
	1-300
キャピラリ材質	ステンレスクオーツ	クオーツ (メモリ効果防止)
ガス導入方式	バルブ制御可能	常時導入
ガス流量(sccm)	1〜2

Omnistar・Thermostar型ガス分析装置の推薦メンテナンス間隔（参考値）

メンテナンス内容	メンテナンス間隔				ユーザー作業※
	6ヶ月	12ヶ月	24ヶ月	48ヶ月	可否
空冷ファンフィルター類、本体内部清掃	○	○	○	○	○
フィラメント交換	-	△	○	○	○
分析管オーバーホール	-	-	△	○	×
チャンネルトロン交換	-	-	△	△	×
分析チャンバー、導入フランジ洗浄	-	-	○	○	×
キャピラリー・オリフィス交換	△	△	○	○	○
オイルリザーバー交換	-	-	-	○	○
ターボ分子ポンプオーバーホール	-	-	-	○	×
メンブレンポンプオーバーホール	-	△	○	○	×
真空計オーバーホール	-	-	○	○	×

○:メンテナンス推薦
△:劣化時
注:推薦メンテナンス間隔は稼働時間・使用ガス種・圧力により異なりますので参考値となります。
※:ユーザーによる作業は事前のトレーニングが必要です。

HiQuad QMG700 / 高性能質量分析計

多用途高性能四重極質量分析計
モジュラー構成により多彩なアプリケーションに適合
高感度・低ノイズ・最大10桁のダイナミックレンジを実現

HiQuad QMG700 主な仕様
	高分解能測定型	高質量測定型
質量分析範囲	1～128	1～300,512
最大測定圧力	1・10^-3Pa(SEM)/1・10^-2Pa(Faraday)
検出器	ディスクリートSEM（コンバージョンダイノード型オプション）/Faraday
Qポール	16㎜径,300㎜長,モリブデン	8㎜径,200㎜長,モリブデン（300amuのみSUS）
最小検出限界	5・10^-14Pa	1・10^-13Pa (512amuタイプ)
最小検出限界(分圧)	0.3ppb	0.5ppb (512amuタイプ)
測定チャンネル数	128ch
最小測定速度	アナログ・バーグラフ： 20ms/amu(Min.)
	ステア・MID： 125μs/amu(Min.)
測定動作温度	最大150℃
ベーキング温度	動作時最大180℃ / 分析管単体最大400℃ （注意・諸条件有）
動作電圧	単相100V/200V、50/60Hz
動作OS	Windows7 Professional , 8.1(32,64bit)