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質量分析計とは
真空(圧力)の質を計測する計測器で、分圧真空計とも呼ばれます。
真空中でどのようなガスが、どの程度含まれているかを知る事が出来ます。
質量分析計は、主に下記 3 種類に大別されます。
A. 磁場偏向型
B. 四重極型
C. 飛行時間型 
ファイファーバキューム社では、四重極型質量分析計を、ご提供させていただきます。
四重極質量分析計の原理、下記商品説明よりさらに詳しい商品説明に関して
ファイファーバキューム社製質量分析計の特徴
- 業界トップレベルの基本性能
- ワールドワイドサービス → 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
- ラインナップ ›
- PrismaPro QMG250/質量分析計
- OmniStar & ThermoStar GSD350 /ベンチトップガスモニター
- HiQuad QMG700/質量分析計
PrismaPro QMG250 / 四重極質量分析計
- モジュラー構成により多彩なアプリケーションに適合
- コンパクトかつハイパフォーマンス
- 多様なインターフェイスによるシンプルなシステム連携
- Webブラウザ簡易測定機能
- 高感度・低ノイズ・クラス最高の高ダイナミックレンジ
- 最速1ms(Dwell time)の高速測定
- アナログ・デジタル入力、デジタル出力を標準装備(オプションで拡張可)
- 新PV MassSpecソフトウェア
マトリクス方式の定量分析
シーケンス作成・内部計算機能
温度情報等の外部信号の取り込み
スレッシュホールド機能により外部機器を制御
QMG250 |
F1 |
F2 |
F3 |
M1 |
M2 |
M3 |
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マスレンジ |
1-100 |
1-200 |
1-300 |
1-100 |
1-200 |
1-300 |
ディテクタ |
ファラデー |
- |
EM |
検出限界(Pa)※
ファラデー /
C-SEM |
4×10-11 |
5×10-11 |
7×10-11 |
- |
- |
3×10-13 |
4×10-13 |
5×10-13 |
感度:Ar(A/Pa)※
ファラデー |
5×10-6 |
4×10-6 |
3×10-6 |
5×10-6 |
4×10-6 |
3×10-6 |
許容
最大圧力(Pa)
ファラデー /
C-SEM |
5×10-2 |
- |
5×10-3 |
5×10-3 |
5×10-3 |
隣接ピーク
寄与率
Mass40/41(ppm) |
< 10 |
< 20 |
< 50 |
< 10 |
< 20 |
< 50 |
分析管ベーキング温度 |
最大300℃
(動作時最大200℃、EM使用時最大150℃) |
※仕様はオープン型イオンソース選択時
メンテナンス内容 |
メンテナンス間隔 |
ユーザー作業※ |
|
6ヶ月 |
12ヶ月 |
24ヶ月 |
可否 |
空冷ファンフィルター清掃 |
○ |
○ |
○ |
○ |
フィラメント交換 |
- |
△ |
○ |
○ |
分析管オーバーホール |
- |
- |
○ |
× |
EM交換 |
- |
- |
△ |
× |
|
|
|
|
|
(付属周辺装置) |
12ヶ月 |
24ヶ月 |
48ヶ月 |
可否 |
ターボ分子ポンプオイルリザーバー交換(HiPace80型) |
- |
- |
○ |
○ |
ターボ分子ポンプオーバーホール(HiPace80型) |
- |
- |
○ |
× |
メンブレンポンプオーバーホール(015・020型) |
△ |
○ |
○ |
× |
ロータリーポンプオイル交換 |
○ |
○ |
○ |
○ |
ロータリーポンプオーバーホール |
- |
○ |
○ |
× |
真空計オーバーホール |
- |
○ |
○ |
× |
○:メンテナンス推薦
△:劣化時(メンブレンポンプ:稼働合計時間MVP015型半年以上、MVP020型1年以上)
注:推薦メンテナンス間隔は稼働時間・使用するガス種・圧力により異なりますので参考値となります。
※:ユーザーによる作業は事前のトレーニングが必要です。

OmniStar & ThermoStar GSD350 / ベンチトップガスモニター
- 専用設計の2段減圧方式により、偏析の防止と高速なレスポンスを実現
- 最大200℃、最大350℃(オプション)の温度制御ヒータ付きキャピラリー
- 専用設計のイオン源の採用により、少量の導入ガスを効率良くイオン化
- 省スペース、軽量設計、取り外し可能なタッチパネル装備
- 最速1ms(Dwell time)の高速測定
- 校正ユニット内蔵(オプション)、耐腐食性バージョン(オプション)
- 新PV MassSpecソフトウェア
マトリクス方式の定量分析
シーケンス作成・内部計算機能
温度情報等の外部信号の取り込み
スレッシュホールド機能により外部機器を制御
GSD350 |
OmniStar |
ThermoStar |
 |
測定質量数 |
1-100 |
1-200 |
1-300 |
キャピラリ材質 |
ステンレス クオーツ |
クオーツ
(メモリ効果防止) |
ガス導入方式 |
バルブ制御可能 |
常時導入 |
ガス流量(sccm) |
1〜2 |
Omnistar・Thermostar型ガス分析装置の推薦メンテナンス間隔(参考値)
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メンテナンス内容 |
メンテナンス間隔 |
ユーザー作業※ |
|
6ヶ月 |
12ヶ月 |
24ヶ月 |
48ヶ月 |
可否 |
空冷ファンフィルター類、本体内部清掃 |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
フィラメント交換 |
- |
△ |
○ |
○ |
○ |
分析管オーバーホール |
- |
- |
△ |
○ |
× |
チャンネルトロン交換 |
- |
- |
△ |
△ |
× |
分析チャンバー、導入フランジ洗浄 |
- |
- |
○ |
○ |
× |
キャピラリー・オリフィス交換 |
△ |
△ |
○ |
○ |
○ |
オイルリザーバー交換 |
- |
- |
- |
○ |
○ |
ターボ分子ポンプオーバーホール |
- |
- |
- |
○ |
× |
メンブレンポンプオーバーホール |
- |
△ |
○ |
○ |
× |
真空計オーバーホール |
- |
- |
○ |
○ |
× |
○:メンテナンス推薦
△:劣化時
注:推薦メンテナンス間隔は稼働時間・使用ガス種・圧力により異なりますので参考値となります。
※:ユーザーによる作業は事前のトレーニングが必要です。
HiQuad QMG700 / 高性能質量分析計
- 多用途高性能四重極質量分析計
- モジュラー構成により多彩なアプリケーションに適合
- 高感度・低ノイズ・最大10桁のダイナミックレンジを実現
HiQuad QMG700 主な仕様
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高分解能測定型 |
高質量測定型 |
質量分析範囲 |
1〜128 |
1〜300,512 |
最大測定圧力 |
1・10-3Pa(SEM)/1・10-2Pa(Faraday) |
検出器 |
ディスクリートSEM(コンバージョンダイノード型オプション)/Faraday |
Qポール |
16o径,300o長,モリブデン |
8o径,200o長,モリブデン(300amuのみSUS) |
最小検出限界 |
5・10-14Pa |
1・10-13Pa (512amuタイプ) |
最小検出限界(分圧) |
0.3ppb |
0.5ppb (512amuタイプ) |
測定チャンネル数 |
128ch |
最小測定速度 |
アナログ・バーグラフ: 20ms/amu(Min.) |
ステア・MID: 125μs/amu(Min.) |
測定動作温度 |
最大150℃ |
ベーキング温度 |
動作時最大180℃ / 分析管単体最大400℃ (注意・諸条件有) |
動作電圧 |
単相100V/200V、50/60Hz |
動作OS |
Windows7 Professional , 8.1(32,64bit) |
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