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リークディテクターとは
真空を作る上で、一番の懸念事項であるリーク(漏れ)をチェックする際に用いる機器です。
リークテスターとも呼ばれます。
測定の際には一般的に、下記の理由により、トレーサーにヘリウムが最適とされています。
- 軽い → 拡散しやすい
- 分子が小さい → 極めて小さい孔へも浸入可能
- 化学的に安定 → 製品を汚染せず、人体に対して無害
- 大気中にほとんど存在しない → 測定器の誤検知を防ぐ
ファイファーバキューム社製リークディテクターの特徴
- 業界トップレベルの基本性能と実績
- ワールドワイドサービス ⇒ 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
- 豊富なラインナップ ⇒ 用途に合わせて最適な機種を選択可能
ASM310 - ポータブルモデル
- フィールドサービスに最適 ⇒ 軽量でポータブルな設計 21kg
- SDカード内蔵 ⇒ データの保存・移行が簡単
- 日本語ガイダンス機能
- 取り外し可能な大画面カラータッチディスプレイ
- 真空法/スニファー法 両モードに対応（ボタン操作で簡単切替）
- 粗引きポンプ ドライポンプ内蔵（約30L/min）
- 世界中で使用可能 ⇒ ユニバーサル電圧対応 90〜240V（単相）
| 項目 |
ASM310 |
単位 |
| 測定方法 |
真空法, スニファー法 |
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| テストポートフランジ |
DN25KF(NW25) |
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| 最大テストポート圧力 |
1,500 |
Pa |
| ヘリウム排気速度 |
1.1 |
l/s |
| 粗引きポンプ排気速度 |
1.7 |
m3/h |
| 最小検知可能リークレート (真空法) |
5×10-13 |
Pa・m3/s |
| 最小検知可能リークレート (スニファー法) |
1×10-8 |
Pa・m3/s |
| 測定可能ガス |
4He, 3He, H2 |
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| 重量 |
21 |
kg |
| 対応言語 |
９ヶ国（日本語、中国語、韓国語、英語、スペイン語など） |
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| 製品カタログはこちら |
日本語 |
英語 |
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ASM306S - スニファー専用モデル
- 300sccm大流量スニファー
- 22kgのポータブルモデル
- 簡単操作
- 自動校正機能付き
- スニファープローブにLEDで合否結果を明確に表示
- スニファー先端にLEDライト付き
| 項目 |
ASM306S |
単位 |
| 測定方法 |
スニファー法 |
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| 最小検知可能リークレート (スニファー法) |
1×10-8 |
Pa・m3/s |
| 流量 |
300 |
sccm |
| 測定可能ガス |
4He, 3He, H2 |
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| 重量 |
22 |
kg |
| 製品カタログはこちら |
日本語 |
英語 |
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ASM340 - 多目的モデル
- クラス最短のテスト開始時間を実現 ⇒ 15m3/h粗引きポンプ内蔵 ※1
- テスト開始時間の短縮 ⇒ テスト開始可能ポート圧力 2,500Pa
- 日本語ガイダンス機能
- 取り外し可能な大画面カラータッチディスプレイ
- 真空法/スニファー法 両モードに対応 ⇒ ボタン操作で簡単切替
- SDカード内蔵 ⇒ データの保存・移行が簡単
- ワイヤレスリモコンにより最大で100m離れた場所から操作可能(オプション）
- 粗引きポンプ非搭載型 ASM340I ⇒ 粗引きポンプの選択が可能
- ※1 ASM340（粗引きポンプ：油回転ポンプ）の場合
| 項目 |
ASM340 |
ASM340D |
ASM340I |
単位 |
| 測定方法 |
真空法, スニファー法 |
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| テストポートフランジ |
DN25KF(NW25) |
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| 最大テストポート圧力 |
2,500 |
Pa |
| ヘリウム排気速度 |
2.5 |
l/s |
| 粗引きポンプ排気速度 |
15（油回転ポンプ） |
3.4（ドライポンプ） |
- |
m3/h |
| 最小検知可能リークレート (真空法) |
5×10-13 |
Pa・m3/s |
| 最小検知可能リークレート (スニファー法) |
5×10-10 |
Pa・m3/s |
| 測定可能ガス |
4He, 3He, H2 |
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| 重量 |
56 |
45 |
32 |
kg |
| 対応言語 |
9ヶ国（日本語、中国語、韓国語、英語、スペイン語など） |
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| 製品カタログはこちら |
日本語 |
英語 |
| ASM340 |
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| ASM340D |
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| ASM340I |
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ASM39x - 高性能可搬型モデル
- 高速リカバリータイム ⇒ ヘリウム排気速度 25 l/s
- 粗引きポンプ 多段ルーツ型ドライポンプ 35m3/h内蔵
⇒ 大型チャンバーに対して真空引き時間の短縮を実現
⇒ パーティクルフリー
⇒ ロングメンテナンスサイクル
- 日本語ガイダンス機能
- 取り外し可能な大画面カラータッチディスプレイ
- 真空法/スニファー法 両モードに対応 ⇒ ボタン操作で簡単切替
- SDカード内蔵 ⇒ データの保存・移行が簡単
| 項目 |
ASM390 |
ASM392 |
単位 |
| 測定方法 |
真空法, スニファー法 |
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| テストポートフランジ |
DN40KF(NW40) |
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| 最大テストポート圧力 |
2,000 |
Pa |
| ヘリウム排気速度 |
10 |
25 |
l/s |
| 粗引きポンプ排気速度 |
35 |
m3/h |
| 最小検知可能リークレート (真空法) |
1×10-13 |
Pa・m3/s |
| 最小検知可能リークレート (スニファー法) |
1×10-9 |
Pa・m3/s |
| 測定可能ガス |
4He, 3He, H2 |
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| 重量 |
125 |
130 |
kg |
| 対応言語 |
９ヶ国（日本語、中国語、韓国語、英語、スペイン語など） |
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| 製品カタログはこちら |
日本語 |
英語 |
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ASI35 - モジュールモデル
- 簡単取付、簡単操作 ⇒ リークディテクションシステムに最適
- I/Oインターフェース（D-Sub37ピン）
- 世界中で使用可能 ⇒ ユニバーサル電圧対応 90V〜240VAC（単相）
- 真空法/スニファー法 両モードに対応 ⇒ ボタン操作で簡単切替
| 項目 |
ASI35 |
単位 |
| 測定方法 |
真空法, スニファー法 |
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| 接続径 |
DN25KF(NW25)、DN16KF(NW16) |
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| 最大テストポート圧力 |
1,800（グロスリークモード） |
Pa |
| 100（ノーマルリークモード） |
| 20（ファインリークモード） |
| 最小検知可能リークレート (真空法) |
3.5×10-9（グロスリークモード） |
Pa・m3/s |
| 1.0×10-11（ノーマルリークモード） |
| 5×10-13（ファインリークモード） |
| 最小検知可能リークレート (スニファー法) |
1.5×10-9 |
Pa・m3/s |
| ヘリウム排気速度 |
1.8（ノーマルリークモード） |
L/s |
| 6.0（ファインリークモード） |
| 測定可能ガス |
4He, 3He, H2 |
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| 製品カタログはこちら |
日本語 |
英語 |
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ASM Pocket - アンドロイド専用アプリ
お持ちのスマートフォンで、ASMリークディテクターをリモート制御することが可能です。
ファイファー社が無償提供するアンドロイド専用アプリ「ASM Pocket」で実現します。
機能
- 真空法、スニファー法
- リークレート、および導入圧力のモニタリング
- スタート/ストップ
- 自動校正
- ゼロファンクション
対象機種
端末仕様
入手方法
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