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ドライポンプとは
ポンプの真空部には潤滑油を使用せず、オイルフリーのクリーンな真空が得られます。ドライポンプは、気体移送式の真空ポンプで、ダイフラム式、スクリュー式、スクロール式、ルーツ式など構造上違いがあり、お客様のご用途に合った最適なポンプをご提供致します。
ファイファーバキューム社製ドライポンプの特徴
- 業界トップレベルの基本性能
- ワールドワイドサービス⇒日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
- ラインナップ ›
- 新型スクロールポンプ
- ダイアフラムポンプ(MVPシリーズ)
- スクリューポンプ(Heptaシリーズ)
- 小型・中型用 多段式ルーツポンプ
(ACPシリーズ)
- ロードロック用 ドライポンプ(A100L/A200L)
- プロセス用 ドライポンプ
(A103P、A4シリーズ、ADHシリーズ)
- 用途 ›
- 分析装置
- 半導体製造装置
- 成膜製造装置(PVD、CVD)
- R&D研究開発用真空装置
- 産業機器製造装置など
新型スクロールポンプ
- オイルフリー、高効率
- 低振動、低騒音 (分析装置・研究用途にもオススメ)
- 長メンテナンスサイクル、簡単メンテナンス
- ブーストモードによりポンプ起動時の高排気速度を実現
- 大気圧近辺でも大排気速度の実現
- 真空計標準装備バージョン有り
機種 |
排気速度
(m3/h) |
供給電源 |
吸気口径 |
排気口径 |
到達真空度(Pa) |
リークレート
(Pa*m3/s) |
騒音レベル |
HiScroll 6
(真空計有りor無し)
 |
6.1 |
100 - 240 VAC (± 10 %)、24VDC |
NW25 |
2 |
5.0×10-7 |
48 dB(A) |
HiScroll 12
(真空計有りor無し)
 |
12.1 |
100 - 240 VAC (± 10 %)、24VDC |
NW25 |
0.9 |
5.0×10-7 |
47 dB(A) |
HiScroll 18
(真空計有りor無し)
 |
18.1 |
100 - 240 VAC (± 10 %)、24VDC |
NW25 |
0.7 |
5.0×10-7 |
47 dB(A) |
ダイアフラムポンプ
- オイルフリー
- 低振動、低騒音 (分析装置・研究用途にもオススメ)
- 国内外対応、電源仕様
- ブーストモードによりポンプ起動時の高排気速度を実現
※MVP015-2DC, MVP015-4DC,MVP030-3DCのみ搭載
スクリュー型ドライポンプ
HeptaDry™
- 排気速度:110〜630(m3/h)
- オイルフリー
- 水冷システムに温度センサー付き調節バルブ搭載
- パーティクル、液体に強い
-
独自の異形ピッチ型スクリュー方式:
- エネルギー効率アップ
- 冷却ガス不要、
- 低回転数 3000 1/min
- 低騒音
機種 |
排気速度 l/min(m3/h:50Hz) |
排気速度 l/min(m3/h:60Hz) |
吸気口径 |
排気口径 |
到達真空度 (Pa:50Hz) |
到達真空度 (Pa:60Hz) |
ノイズ (db:50Hz) |
ノイズ (db:60Hz) |
Hepta 100P
 |
1,883(110) |
2,167(130) |
DN 63 ISO-K |
DN40-PN16 |
<5.0 |
<1.0 |
70 |
74 |
Hepta 200P
 |
3,667(220) |
4,417(265) |
DN50-PN16 |
71 |
76 |
Hepta 300P
 |
5,333(320) |
6,417(385) |
72 |
77 |
Hepta 400P
 |
5,833(350) |
7,000(420) |
DN 100 ISO-K |
DN80-PN16 |
66 |
69 |
Hepta 630P
 |
10,500(630) |
70 |
75 |
ACPシリーズ
- クリーンアプリケーション用途
- 長期メンテサイクル、約2年半(22,000時間)連続運転が可能 ※ACP15は20,000時間
- パーティクルレスでクリーンな排気
- 空冷式:冷却水不要 ※ACP120Gのみ水冷仕様
- Heリークレート5×10-9 Pa m3/s ⇒ガス回収、ガス循環に最適 ※CPバージョンの場合
- 様々なアプリケーション向けに、多彩なラインアップをご用意
@標準モデル:クリーンプロセス用
AGバージョン:腐食性ガス排気用
BCVバージョン:水蒸気排気用
CCPバージョン:ガス循環用
DRバージョン:耐放射線仕様
- 多彩なオプションをご用意:パーティクルフィルター、外付けサイレンサー、低騒音カバー等
- 単相/三相モーター選択可能
機種 |
排気速度 l/min(m3/h) 50/60Hz |
吸気口径 |
排気口径 |
到達真空度
パージ無(Pa) |
到達真空度
パージ有(Pa) |
最大水蒸気
処理量(g/h) |
ACP15
 |
232(14) |
DN 25ISO-KF |
DN 16ISO-KF |
5 |
|
80 ※ガスバラ開時 |
ACP15G
 |
- |
38 ※1 |
80 |
ACP28
 |
448(27) |
DN 25ISO-KF |
4 |
|
120 ※ガスバラ開時 |
ACP28G
 |
- |
20 ※1 |
120 |
ACP28CV
 |
- |
- |
700 |
ACP40
 |
614(37) |
DN 40ISO-KF |
4 |
|
120 ※ガスバラ開時 |
ACP40G
 |
- |
20 ※1 |
120 |
ACP40CV
 |
- |
- |
700 |
ACP120G
 |
1,580(95)/ 1,860(112) |
DN50ISO-KF |
DN 40ISO-KF |
50Hz パージ有 |
60Hz パージ有 |
仕様 |
30 |
10 |
耐腐食・ 水冷 |
事前にご使用ガスをご連絡ください
到達真空度:最低1時間のウォームアップ運転後に測定
※1:Gバージョン パージガスが流れている状態の到達圧力(ACP15:5,000sccm、ACP28/40:3,700sccm)
ガス循環用途向け専用モデル
機種 |
排気速度 l/min(m3/h) 50/60Hz |
吸気口径 |
排気口径 |
連続運転可能吸気口圧(Pa) |
許容排気口圧(Pa) |
Heリークレート(Pa m3/s) |
ACP28CP
 |
614(37) |
DN25ISO-KF |
DN25ISO-KF |
101,300 |
120,000 |
5E-9 |
ACP40CP
 |
614(37) |
DN40ISO-KF |
DN25ISO-KF |
101,300 |
120,000 |
5E-9 |
※単相モーター、ガスバラストポート閉、ギアボックス排気ポート付
ACG600
- コーティング、フリーズドライ、リークディテクションなど一般産業向け
- 高スループット
- 10m3までの大型チャンバーの排気が可能(オプション)
- 耐腐食ガス対応モデル(Gバージョン)
機種 |
排気速度
l/min(m3/h):50Hz |
排気速度
l/min(m3/h):60Hz |
吸気口径 |
排気口径 |
到達真空度、 パージ無(Pa) |
耐腐食性
機種 |
ACG600G
 |
8,000(480) |
9,333(560) |
50ISO-KF |
40ISO-KF |
9.0 x 10^-2 |
有り |
A100L / A200L
- ロードロック、クリーンプロセス向け トランスファーチャンバーでの使用に最適なドライポンプ
- 低振動、高スループット:20LのL/Lチャンバーで1時間に300回のサイクル運転可能
- 高効率モーター採用による低消費電力化を実現
- コンパクト設計 設置面積 0.17m2 縦置き・横置き選択可能
- 2段積み可能(吸気口向き水平のみ)
機種 |
排気速度
l/min(m3/h) 50/60Hz |
吸気口径 |
排気口径 |
到達真空度(Pa) |
消費電力*1(kW) |
耐腐食性
機種 |
A100L
 |
1,667(100) |
50ISO-KF |
25ISO-KF |
0.66 |
到達圧力時:1.6
アイドルモード:0.5〜1.2 |
- |
A200L
 |
3,340(200) |
50ISO-KF |
25ISO-KF |
1.3 |
到達圧力時:0.7 |
- |
※1:チャンバ圧力に依存します
A103Pドライポンプ
- ミディアムプロセス向け(エッチャー、イオン注入、PVDなど)
- 省エネ、省スペース
機種 |
排気速度
l/min(m3/h) |
吸気口径 |
排気口径 |
到達真空度、 パージ無(Pa) |
到達真空度、 パージ有(Pa) |
耐腐食性
機種 |
A103P
 |
2,000(120) |
50ISO-KF |
25ISO-KF |
0.65 |
2.6 |
有 |
※耐腐食性用途については事前にご使用ガス等ご相談ください。
A4シリーズ Version-2
- マルチルーツ構造、高効率モーターよる低消費電力化を実現
- ヒーター温度制御による、副生成物の堆積物を抑制
- 耐腐食用ニッケルコーティング仕様 (XNモデル)によるポンプの長寿命化
- 優れたパーティクル排気能力により、プロセス装置の稼働時間を延長
- 拡張されたモニタリング機能により、ポンプの状態をより適切に制御(冷却水センサー、振動ボックス等)
- ホットN2により、ポンプ内部及び排気配管の詰まりを防止
- IP33、SEMI S2およびULに準拠
機種 |
排気速度
l/min(m3/h): 50Hz |
排気速度
l/min(m3/h): 60Hz |
吸気口径 |
排気口径 |
到達真空度
パージ無 (Pa):50/60Hz |
到達真空度パージ有50SLM(Pa):50/60Hz |
耐腐食性
機種 |
A124H/X
 |
1,587(95) |
1,837(110) |
50ISO-K |
40ISO-KF |
5 / 2. |
30 / 10. |
有Xモデル |
A204H/X
 |
2,158(130) |
2,656(160) |
50ISO-K |
20 / 5. |
70 / 20. |
A604H
 |
7,968(480) |
9,296(560) |
100ISO-K |
0.3 / 0.2. |
1 / 0.6. |
A804H/X
 |
9,960(600) |
11,620(700) |
100ISO-K |
0.8 / 0.4. |
2 / 0.9. |
A1204H
 |
17,535(1,050) |
19,200(1,150) |
160ISO-K |
0.3 / 0.2. |
1 / 0.6. |
A1504H/X
 |
18,260(1,100) |
19,920(1,200) |
160ISO-K |
0.8 / 0.4. |
2 / 0.9. |
A1804H/X
 |
27,555(1,650) |
28,390(1,700) |
160ISO-K |
0.8 / 0.4. |
2 / 0.9. |
A3004H/X
 |
- |
49,800(3,000) |
160ISO-K |
0.4(60Hz) |
0.9(60Hz) |
機種 |
排気速度
l/min(m3/h): 50Hz |
吸気口径 |
排気口径 |
到達真空度
パージ無 (Pa):60Hz |
到達真空度
パージ有
50SLM
(Pa):60Hz |
耐腐食性
機種 |
A804XN
 |
9,960(600) |
100ISO-K |
DN40ISO-KF |
1.45 |
2.4 |
有
Niコーティング |
A1504XN
 |
18,260(1,100) |
160ISO-K |
1.45 |
2.4 |
A1804XN
 |
26,560(1,600) |
160ISO-K |
1.45 |
2.4 |
A3004XN
 |
48,140(2,900) |
160ISO-K |
0.4 |
0.9 |


ADHシリーズ
- ハイエンドプロセス用 高性能ドライポンプ
- N2ガスと同等レベルのH2ガス排気性能
- ALD、エピタキシャル成長、EUVプロセスに最適 (水素、シラン系ガスに使用可能)
- マルチルーツ構造、高効率モーター、・アイドリングモードによる低消費電力化を実現
- ハイパワーモーターにより、大容量のパーティクル排出、ポンプ再起動時の故障を低減
機種 |
排気速度
l/min(m3/h): N2 |
排気速度
l/min(m3/h): H2 |
吸気口径 |
排気口径 |
到達真空度
パージ有 50SLM (Pa) |
連続最大吸気流量 |
slm N2 |
slm H2 |
AD600H
 |
9,960 (600) |
9,960 (600) |
100ISO-K |
50ISO-KF |
2 |
500 |
400 |
AD3060H
 |
54,780 (3,300) |
53,120 (3,200) |
160ISO-K |
0.2 |
160 |
200 |
AD4560H
 |
74,700 (4,500) |
74,700 (4,500) |
200ISO-K |
0.2 |
110 |
120 |
|