ドライポンプ（Dry pump)

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ドライポンプとは

ポンプの真空部には潤滑油を使用せず、オイルフリーのクリーンな真空が得られます。ドライポンプは、気体移送式の真空ポンプで、ダイフラム式、スクリュー式、スクロール式、ルーツ式など構造上違いがあり、お客様のご用途に合った最適なポンプをご提供致します。

ファイファーバキューム社製ドライポンプの特徴

業界トップレベルの基本性能
ワールドワイドサービス⇒日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能

ラインナップ ›
新型スクロールポンプ
ダイアフラムポンプ（MVPシリーズ）
スクリューポンプ（Heptaシリーズ）
小型・中型用多段式ルーツポンプ
（ACPシリーズ）
ロードロック用ドライポンプ（A100L/A200L）
プロセス用ドライポンプ
（A103P、A4シリーズ、ADHシリーズ）

用途 ›
分析装置
半導体製造装置
成膜製造装置（PVD、CVD）
R&D研究開発用真空装置
産業機器製造装置など

新型スクロールポンプ

オイルフリー、高効率
低振動、低騒音 (分析装置・研究用途にもオススメ)
長メンテナンスサイクル、簡単メンテナンス
ブーストモードによりポンプ起動時の高排気速度を実現
大気圧近辺でも大排気速度の実現
真空計標準装備バージョン有り

機種	排気速度 (m³/h)	供給電源	吸気口径	排気口径	到達真空度(Pa)	リークレート (Pa*m³/s)	騒音レベル
HiScroll 6 (真空計有りor無し)	6.1	100 - 240 VAC (± 10 %)、24VDC	NW25		2	5.0×10^-7	48 dB(A)
HiScroll 12 (真空計有りor無し)	12.1	100 - 240 VAC (± 10 %)、24VDC	NW25		0.9	5.0×10^-7	47 dB(A)
HiScroll 18 (真空計有りor無し)	18.1	100 - 240 VAC (± 10 %)、24VDC	NW25		0.7	5.0×10^-7	47 dB(A)

ダイアフラムポンプ

オイルフリー
低振動、低騒音 (分析装置・研究用途にもオススメ)
国内外対応、電源仕様
ブーストモードによりポンプ起動時の高排気速度を実現
※MVP015-2DC, MVP015-4DC,MVP030-3DCのみ搭載

機種	排気速度 (l/min:50Hz)	排気速度 (l/min:60Hz)	吸気口径 *1	排気口径 *1	到達真空度 (Pa)	リークレート (Pa*m3/s)	耐腐食性機種
MVP010-3DC	10 (24VDC)		G1/8		100	5.0×10^-4	-
MVP015-2 DC	16.7 (24VDC)^*2		G1/8	G1/8	350	5.0×10-4	-
MVP015-2 AC	8.3	11.7			350		-
MVP015-4 DC	12.5 (24VDC)^*2				50		-
MVP015-4 AC	8.3 (230VAC)	10 (120VAC)	16ISO-KF		50		-
MVP020-3 AC	20	23.3	G1/8		200	1.0×10-2	-
MVP020-3 DC	20(24VDC)		G1/8		200	1.0×10-2	-
MVP030-3 DC	30(24VDC)		G1/8		250	1.0×10-2	-
MVP040-2	38.3	41.7	G1/4		400	2.0×10-3	-
MVP070-3	63.3	71.7	G1/4		100	2.0×10-3	-
MVP070-3 C	56.7	63.3	Hose nipple 10 mm	16ISO-KF (NW16)	150	2.0×10-3	有り

*1 変換用部品ございます。お問合せください。
*2 ブーストモード時の最大排気量となります。

スクリュー型ドライポンプ

HeptaDry™

排気速度：110～630(m3/h)
オイルフリー
水冷システムに温度センサー付き調節バルブ搭載
パーティクル、液体に強い
独自の異形ピッチ型スクリュー方式：
- エネルギー効率アップ
- 冷却ガス不要、
- 低回転数 3000 1/min
低騒音

機種	排気速度 l/min(m3/h:50Hz)	排気速度 l/min(m3/h:60Hz)	吸気口径	排気口径	到達真空度 (Pa:50Hz)	到達真空度 (Pa:60Hz)	ノイズ (db:50Hz)	ノイズ (db:60Hz)
Hepta 100P	1,883(110)	2,167(130)	DN 63 ISO-K	DN40-PN16	<5.0	<1.0	70	74
Hepta 200P	3,667(220)	4,417(265)		DN50-PN16			71	76
Hepta 300P	5,333(320)	6,417(385)		DN50-PN16			72	77
Hepta 400P	5,833(350)	7,000(420)	DN 100 ISO-K	DN80-PN16			66	69
Hepta 630P	10,500(630)		DN 100 ISO-K	DN80-PN16			70	75

ACPシリーズ

クリーンアプリケーション用途
長期メンテサイクル、約2年半（22,000時間）連続運転が可能　※ACP15は20,000時間
パーティクルレスでクリーンな排気
空冷式：冷却水不要　※ACP120Gのみ水冷仕様
Heリークレート5×10-9 Pa m3/s　⇒ガス回収、ガス循環に最適 ※CPバージョンの場合
様々なアプリケーション向けに、多彩なラインアップをご用意
①標準モデル：クリーンプロセス用
②Gバージョン：腐食性ガス排気用
③CVバージョン：水蒸気排気用
④CPバージョン：ガス循環用
⑤Rバージョン：耐放射線仕様
多彩なオプションをご用意：パーティクルフィルター、外付けサイレンサー、低騒音カバー等
単相/三相モーター選択可能

機種	排気速度 l/min(m3/h) 50/60Hz	吸気口径	排気口径	到達真空度パージ無（Pa)	到達真空度パージ有(Pa)	最大水蒸気処理量(g/h)
ACP15	232(14)	DN 25ISO-KF	DN 16ISO-KF	5		80 ※ｶﾞｽﾊﾞﾗ開時
ACP15G	232(14)		DN 16ISO-KF	-	38 ※1	80
ACP28	448(27)		DN 25ISO-KF	4		120 ※ｶﾞｽﾊﾞﾗ開時
ACP28G				-	20 ※1	120
ACP28CV				-	-	700
ACP40	614(37)	DN 40ISO-KF		4		120 ※ｶﾞｽﾊﾞﾗ開時
ACP40G				-	20 ※1	120
ACP40CV				-	-	700
ACP120G	1,580(95)/ 1,860(112)	DN50ISO-KF	DN 40ISO-KF	50Hz パージ有	60Hz パージ有	仕様
ACP120G	1,580(95)/ 1,860(112)	DN50ISO-KF	DN 40ISO-KF	30	10	耐腐食・水冷

事前にご使用ガスをご連絡ください
到達真空度：最低1時間のウォームアップ運転後に測定
※１：Gバージョンパージガスが流れている状態の到達圧力（ACP15：5,000sccm、ACP28/40：3,700sccm）

ガス循環用途向け専用モデル

機種	排気速度 l/min(m3/h) 50/60Hz	吸気口径	排気口径	連続運転可能吸気口圧（Pa)	許容排気口圧（Pa)	Heリークレート(Pa m³/s）
ACP28CP	614(37)	DN25ISO-KF	DN25ISO-KF	101,300	120,000	5E-9
ACP40CP	614(37)	DN40ISO-KF	DN25ISO-KF	101,300	120,000	5E-9

※単相モーター、ガスバラストポート閉、ギアボックス排気ポート付

ACG600

コーティング、フリーズドライ、リークディテクションなど一般産業向け
高スループット
10m³までの大型チャンバーの排気が可能（オプション）
耐腐食ガス対応モデル（Gバージョン）

機種	排気速度 l/min(m³/h):50Hz	排気速度 l/min(m³/h):60Hz	吸気口径	排気口径	到達真空度、パージ無（Pa)	耐腐食性機種
ACG600G	8,000(480)	9,333(560)	50ISO-KF	40ISO-KF	9.0 x 10^-2	有り

A100L / A200L

ロードロック、クリーンプロセス向けトランスファーチャンバーでの使用に最適なドライポンプ
低振動、高スループット：20LのL/Lチャンバーで1時間に300回のサイクル運転可能
高効率モーター採用による低消費電力化を実現
コンパクト設計　設置面積 0.17m²　縦置き・横置き選択可能
2段積み可能（吸気口向き水平のみ）

機種	排気速度 l/min(m³/h) 50/60Hz	吸気口径	排気口径	到達真空度（Pa)	消費電力*1（kW)	耐腐食性機種
A100L	1,667(100)	50ISO-KF	25ISO-KF	0.66	到達圧力時：1.6 アイドルモード：0.5～1.2	-
A200L	3,340(200)	50ISO-KF	25ISO-KF	1.3	到達圧力時：0.7	-

※1：チャンバ圧力に依存します

A103Pドライポンプ

ミディアムプロセス向け（エッチャー、イオン注入、PVDなど）
省エネ、省スペース

機種	排気速度 l/min(m³/h)	吸気口径	排気口径	到達真空度、パージ無(Pa)	到達真空度、パージ有(Pa)	耐腐食性機種
A103P	2,000(120)	50ISO-KF	25ISO-KF	0.65	2.6	有

※耐腐食性用途については事前にご使用ガス等ご相談ください。

A4シリーズ　Version-2

マルチルーツ構造、高効率モーターよる低消費電力化を実現
ヒーター温度制御による、副生成物の堆積物を抑制
耐腐食用ニッケルコーティング仕様 (XNモデル)によるポンプの長寿命化
優れたパーティクル排気能力により、プロセス装置の稼働時間を延長
拡張されたモニタリング機能により、ポンプの状態をより適切に制御（冷却水センサー、振動ボックス等）
ホットN2により、ポンプ内部及び排気配管の詰まりを防止
IP33、SEMI S2およびULに準拠

機種	排気速度 l/min(m³/h): 50Hz	排気速度 l/min(m³/h): 60Hz	吸気口径	排気口径	到達真空度パージ無（Pa):50/60Hz	到達真空度パージ有50SLM（Pa):50/60Hz	耐腐食性機種
A124H/X	1,587(95)	1,837(110)	50ISO-K	40ISO-KF	5 / 2.	30 / 10.	有Xモデル
A204H/X	2,158(130)	2,656(160)	50ISO-K		20 / 5.	70 / 20.
A604H	7,968(480)	9,296(560)	100ISO-K		0.3 / 0.2.	1 / 0.6.
A804H/X	9,960(600)	11,620(700)	100ISO-K		0.8 / 0.4.	2 / 0.9.
A1204H	17,535(1,050)	19,200(1,150)	160ISO-K		0.3 / 0.2.	1 / 0.6.
A1504H/X	18,260(1,100)	19,920(1,200)	160ISO-K		0.8 / 0.4.	2 / 0.9.
A1804H/X	27,555(1,650)	28,390(1,700)	160ISO-K		0.8 / 0.4.	2 / 0.9.
A3004H/X	-	49,800(3,000)	160ISO-K		0.4(60Hz)	0.9(60Hz)

機種	排気速度 l/min(m³/h): 50Hz	吸気口径	排気口径	到達真空度パージ無（Pa):60Hz	到達真空度パージ有 50SLM （Pa):60Hz	耐腐食性機種
A804XN	9,960(600)	100ISO-K	DN40ISO-KF	1.45	2.4	有 Niコーティング
A1504XN	18,260(1,100)	160ISO-K		1.45	2.4
A1804XN	26,560(1,600)	160ISO-K		1.45	2.4
A3004XN	48,140(2,900)	160ISO-K		0.4	0.9

ADHシリーズ

ハイエンドプロセス用高性能ドライポンプ
N2ガスと同等レベルのH2ガス排気性能
ALD、エピタキシャル成長、EUVプロセスに最適　（水素、シラン系ガスに使用可能）
マルチルーツ構造、高効率モーター、・アイドリングモードによる低消費電力化を実現
ハイパワーモーターにより、大容量のパーティクル排出、ポンプ再起動時の故障を低減

機種	排気速度 l/min(m³/h): N2	排気速度 l/min(m³/h): H2	吸気口径	排気口径	到達真空度パージ有 50SLM （Pa)	連続最大吸気流量
機種	排気速度 l/min(m³/h): N2	排気速度 l/min(m³/h): H2	吸気口径	排気口径	到達真空度パージ有 50SLM （Pa)	slm N2	slm H2
AD600H	9,960 (600)	9,960 (600)	100ISO-K	50ISO-KF	2	500	400
AD3060H	54,780 (3,300)	53,120 (3,200)	160ISO-K		0.2	160	200
AD4560H	74,700 (4,500)	74,700 (4,500)	200ISO-K		0.2	110	120