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ターボ分子ポンプとは

高真空
(< 1
x 10-1Pa)
が必要とされるアプリケーションで、 ロータリーポンプなどの粗排気ポンプと組合わせて使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。
高真空側に油を使用していないため、クリーンな真空が得られることができます。
ファイファーバキューム社製ターボポンプの特徴
- 業界トップクラスの基本性能
→ 圧縮比、到達真空度、ガス流量など
- 使用環境に合わせて仕様選択可能
- ドライブ回路搭載 (※電源搭載モデルもございます。)
省設置スペース、省ケーブル、省コスト
- ドライブ回路切離しタイプ
設置環境、設置スペースの自在性
- アクセサリー類自動認識 (プラグ & プレイ)
面倒な配線作業などが不要
- ワールドワイドサービス
日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
- ラインナップ ›
- 軸受型(ハイブリッドベアリング)
- 磁気浮上型
- カスタマイズポンプ/スプリットフローポンプ
軸受型(ハイブリッドベアリング)
- 複合型ターボ分子ポンプ
-
業界トップクラスの排気速度、圧縮比、許容ガス流量
- 取り付け姿勢自由
- 各種規格に対応:RoHS、CE、UL(1部)、Semi
- 防塵、防水規格IP54適合
標準仕様
機種 |
ドライブ回路 |
口径 |
排気速度 N2(l/s) |
排気速度 H2(l/s) |
到達真空度 (Pa) |
圧縮比 N2 |
圧縮比 H2 |
最大許容背圧(Pa) |
取付姿勢 |
HiPace10
 |
TC110 |
25KF/NW25 |
10 |
3.7 |
<5.0×10-3 *1 |
3.0×106 |
3.0×102 |
2500 |
自在 |
HiPace30
 |
40KF/NW40 |
22 |
19 |
<1.0×10-5 *1 |
>1.0×1011 |
3×105 |
2400 |
63ISO-K |
32 |
20 |
63CF/ICF114 |
32 |
20 |
<5.0×10-8 *2, *3 |
HiPace80
 |
40KF/NW40 |
35 |
38 |
<1.0×10-5 *1 |
1.4×105 |
2200 |
63 ISO-K |
67 |
48 |
63CF/ICF114 |
<5.0×10-8 *2, *3 |
HiPace300H *4
|
100 ISO-K
100CF/ICF152
100 ISO-F |
260 |
220 |
100ISO-K, 100ISO-F
<1.0×10-5 *2, *3
100CF/ICF152
<5.0×10-8 *2, *3
HiPace300Hのみ
100CF/ICF152
<1.0×10-8 *2, *3 |
>1.0×1013 |
1.0×107 |
3000 |
HiPace300
|
>1.0×1011 |
9.0×105 |
1500 |
TC400 |
2000 |
HiPace350
|
TC120 |
100 ISO-K
100CF/ICF152 |
300 |
300 |
100ISO-K
<1.0×10-5 *2, *3
100CF/ICF152
<5.0×10-8 *2, *3 |
2.0×106 |
1000 |
TC400 |
HiPace450
|
TC120 |
160 ISO-K
160CF/ICF203 |
380 |
330 |
160ISO-K
<1.0×10-5 *2, *3
160CF/ICF152
<5.0×10-8 *2, *3 |
TC400 |
HiPace700H
|
TC400 |
160 ISO-K
160CF/ICF203
160 ISO-F |
685 |
555 |
160ISO-K, 160ISO-F
<1.0×10-5 *2, *3
160CF/ICF203
<5.0×10-8 *2, *3
HiPace700Hのみ
160CF/ICF203
<1.0×10-8 *2, *3 |
>1.0×1013 |
2.0×107 |
2200 |
HiPace700
|
>1.0×1011 |
4.0×105 |
1100 |
HiPace800
|
200 ISO-K |
790 |
580 |
200ISO-K, 200ISO-F
<1.0×10-5 *2, *3
200CF/ICF253
<5.0×10-8 *2, *3 |
200CF/ICF253 |
200 ISO-F |
HiPace1200
|
TC1200 |
200
ISO-K
200CF/ICF253
200 ISO-F |
1250 |
1100 |
200ISO-K, 200ISO-F
250ISO-K, 250ISO-F
<1.0×10-5 *2, *3
200CF/ICF253
250CF/ICF303
<5.0×10-8 *2, *3 |
1.0×108 |
6.0×103 |
200 |
水平 or 逆水平 |
HiPace1500
|
250 ISO-K
250CF/ICF303
250 ISO-F |
1400 |
1150 |
HiPace1800
|
200 ISO-K
200 ISO-F |
1450 |
1700 |
2.0×104 |
180 |
HiPace2300
|
250
ISO-K
250CF/ICF303
250 ISO-F |
1900 |
1850 |
HiPace 300P
|
TC400 |
100 ISO-K
100CF/ICF152
100 ISO-F |
245 |
125 |
100 ISO-K |
>1.0×106 |
3.0×102 |
100 |
水平
or
逆水平 |
HiPace 700P
|
TC400 |
160 ISO-K
160CF/ICF203
160 ISO-F |
670 |
275 |
160 ISO-K |
>1.0×106 |
4.0×102 |
110 |
水平
or
逆水平 |
HiPace 800P
|
TC400 |
200 ISO-K
200CF/ICF253
200 ISO-F |
785 |
320 |
200 ISO-K |
>1.0×106 |
4.0×102 |
110 |
水平
or
逆水平 |
*1: ベーキングなし
*2: チャンバー 48 時間ベーキング後 (メタルシール使用 / 背圧 < 5pa) / DIN28428
*3: ベーキング時は、水冷仕様推奨
*4: HiPace300H、HiPace700Hは、高圧縮比モデル

磁気浮上型
- 五軸制御型磁気浮上ターボ分子ポンプ
- メンテナンスフリー、オイルフリー
- 取付け方向自由、低振動、低ノイズ
- 業界トップクラスの圧縮比
機種 |
ドライブ回路 |
口径 |
排気速度 N2(1/s) |
到達真空度 (Pa) |
圧縮比
N2 |
圧縮比
H2 |
最大排気圧力
(Pa) |
取付姿勢 |
HiPace300M
 |
TM700 |
100ISO-K |
255 |
<5×10-8 |
1×1011 |
5×105 |
2000 |
自在 |
100CF/ICF152 |
100ISO-F |
HIPace700M
 |
TM700 |
160ISO-K |
685 |
1×1011 |
2×105 |
800 |
自在 |
160CF/ICF203 |
160ISO-F |
HiPace800M
 |
TM700 |
200ISO-K |
790 |
1×1011 |
2×105 |
800 |
自在 |
200CF/ICF253 |
200ISO-F |
<共通>
大排気量用途
ATH-Mシリーズは半導体、FPD、コーティング、太陽電池製造装置、その他産業向け大排気量用磁気浮上型ポンプです。
機種 |
口径 |
排気速度
N2(l/s) |
到達真空度
(Pa) |
圧縮比
N2 |
圧縮比 H2 |
最大ガス流量
N2(sccm)* |
最大排気圧力
(Pa) |
取付姿勢 |
ATP2300M
 |
DN250 |
1950 |
<6×10-7 |
>1×108 |
>7×103 |
2200 |
210 |
自在 |
*: 環境温度、水量、水温など外部状況による
カスタマイズポンプ/スプリットフローポンプ
スプリットフローポンプ
- 1 台で、2 台以上の性能 → 省コスト、省スペース
- お客様のニーズに合わせて、デザイン可能
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