ターボ分子ポンプ (Turbo Molecular Pump)

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ターボ分子ポンプとは

高真空 (< 1 x 10-1Pa) が必要とされるアプリケーションで、ロータリーポンプなどの粗排気ポンプと組合わせて使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。高真空側に油を使用していないため、クリーンな真空が得られることができます。

ファイファーバキューム社製ターボポンプの特徴

業界トップクラスの基本性能
→ 圧縮比、到達真空度、ガス流量など
使用環境に合わせて仕様選択可能

ドライブ回路搭載 (※電源搭載モデルもございます。)
省設置スペース、省ケーブル、省コスト
ドライブ回路切離しタイプ
設置環境、設置スペースの自在性

アクセサリー類自動認識 (プラグ & プレイ)
面倒な配線作業などが不要
ワールドワイドサービス
日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能

ラインナップ ›
軸受型（ハイブリッドベアリング）
磁気浮上型
カスタマイズポンプ/スプリットフローポンプ

用途 ›
分析装置
半導体装置
加速器
その他

軸受型（ハイブリッドベアリング）

複合型ターボ分子ポンプ
業界トップクラスの排気速度、圧縮比、許容ガス流量
取り付け姿勢自由
各種規格に対応：RoHS、CE、UL(1部)、Semi
防塵、防水規格IP54適合

標準仕様

機種	ドライブ回路	口径	排気速度 N2(l/s)	排気速度 H₂(l/s)	到達真空度 (Pa)	圧縮比 N₂	圧縮比 H₂	最大許容背圧(Pa)	取付姿勢
HiPace10	TC110	25KF/NW25	10	3.7	<5.0×10^-3 *1	3.0×10⁶	3.0×10²	2500	自在
HiPace30		40KF/NW40	22	19	<1.0×10^-5 *1	>1.0×10¹¹	3×10⁵	2400
		63ISO-K	32	20
		63CF/ICF114	32	20	<5.0×10^-8 2, 3
HiPace80		40KF/NW40	35	38	<1.0×10^-5 *1		1.4×10⁵	2200
		63 ISO-K	67	48
		63CF/ICF114			<5.0×10^-8 2, 3
HiPace300H *4		100 ISO-K 100CF/ICF152 100 ISO-F	260	220	100ISO-K, 100ISO-F <1.0×10^{-5^{2, 3 100CF/ICF152 <5.0×10^{-8^{2, 3 HiPace300Hのみ 100CF/ICF152 <1.0×10^{-8^{2, 3}}}}}}	>1.0×10¹³	1.0×10⁷	3000
HiPace300						>1.0×10¹¹	9.0×10⁵	1500
	TC400							2000
HiPace350	TC120	100 ISO-K 100CF/ICF152	300	300	100ISO-K <1.0×10^{-5^{2, 3 100CF/ICF152 <5.0×10^{-8^{2, 3}}}}		2.0×10⁶	1000
	TC400
HiPace450	TC120	160 ISO-K 160CF/ICF203	380	330	160ISO-K <1.0×10^{-5^{2, 3 160CF/ICF152 <5.0×10^{-8^{2, 3}}}}
	TC400
HiPace700H	TC400	160 ISO-K 160CF/ICF203 160 ISO-F	685	555	160ISO-K, 160ISO-F <1.0×10^-5 2, 3 160CF/ICF203 <5.0×10^-8 2, 3 HiPace700Hのみ 160CF/ICF203 <1.0×10^-8 2, 3	>1.0×10¹³	2.0×10⁷	2200
HiPace700						>1.0×10¹¹	4.0×10⁵	1100
HiPace800		200 ISO-K	790	580	200ISO-K, 200ISO-F <1.0×10^{-5^{2, 3 200CF/ICF253 <5.0×10^{-8^{2, 3}}}}
		200CF/ICF253
		200 ISO-F
HiPace1200	TC1200	200 ISO-K 200CF/ICF253 200 ISO-F	1250	1100	200ISO-K, 200ISO-F 250ISO-K, 250ISO-F <1.0×10^-5 2, 3 200CF/ICF253 250CF/ICF303 <5.0×10^-8 2, 3	1.0×10⁸	6.0×10³	200	水平 or 逆水平
HiPace1500		250 ISO-K 250CF/ICF303 250 ISO-F	1400	1150
HiPace1800		200 ISO-K 200 ISO-F	1450	1700			2.0×10⁴	180
HiPace2300		250 ISO-K 250CF/ICF303 250 ISO-F	1900	1850
HiPace 300P	TC400	100 ISO-K 100CF/ICF152 100 ISO-F	245	125	100 ISO-K	>1.0×10⁶	3.0×10²	100	水平 or 逆水平
HiPace 700P	TC400	160 ISO-K 160CF/ICF203 160 ISO-F	670	275	160 ISO-K	>1.0×10⁶	4.0×10²	110	水平 or 逆水平
HiPace 800P	TC400	200 ISO-K 200CF/ICF253 200 ISO-F	785	320	200 ISO-K	>1.0×10⁶	4.0×10²	110	水平 or 逆水平

*1: ベーキングなし
*2: チャンバー 48 時間ベーキング後 (メタルシール使用 / 背圧 < 5pa) / DIN28428
*3: ベーキング時は、水冷仕様推奨
*4: HiPace300H、HiPace700Hは、高圧縮比モデル

磁気浮上型

五軸制御型磁気浮上ターボ分子ポンプ
メンテナンスフリー、オイルフリー
取付け方向自由、低振動、低ノイズ
業界トップクラスの圧縮比

機種	ドライブ回路	口径	排気速度 N₂(1/s)	到達真空度 (Pa)	圧縮比 N₂	圧縮比 H₂	最大排気圧力 (Pa)	取付姿勢
HiPace300M	TM700	100ISO-K	255	＜5×10^-8	1×1011	5×105	2000	自在
		100CF/ICF152
		100ISO-F
HIPace700M	TM700	160ISO-K	685		1×1011	2×105	800	自在
		160CF/ICF203
		160ISO-F
HiPace800M	TM700	200ISO-K	790		1×1011	2×105	800	自在
		200CF/ICF253
		200ISO-F

＜共通＞

大排気量用途

ATH-Mシリーズは半導体、FPD、コーティング、太陽電池製造装置、その他産業向け大排気量用磁気浮上型ポンプです。

機種	口径	排気速度 N₂(l/s)	到達真空度 (Pa)	圧縮比 N₂	圧縮比 H₂	最大ガス流量 N₂(sccm)*	最大排気圧力 (Pa)	取付姿勢
ATH500M	DN100	350	＜1×10^-6	2×107	2×102	4000	260	自在
	DN160	550
ATH500MT	DN100	350				500
	DN160	550
ATH1603M	DN200	1360	＜6×10^-7	＞1×108	5×102	4000	170
	DN250	1400
ATH1600MT	DN200	1360				1000	220
	DN250	1400
ATH2303M	DN250	2150	＜6×10^-7	＞1×108	＞1×103	4000	290
ATH2300MT	DN250	2150			＞2×103	1000	280
ATH2804M	DN250	2350	＜6×10^-6	＞1×109	4.9×103	>5000	340
ATH2804MT						2800	300
ATH3204M	DN320	3050	＜6×10^-6	＞1×109	4.9×103	>5000	340
ATH3204MT						2800	300

*: 最大ガス流量　　M：ポンプ常温時(水冷 25℃)、MT：ポンプ65℃(水冷 25℃)
*: 環境温度、水量、水温など外部状況による
*: 各種アクセサリーはこちら

軽ガス排気用途

業界トップクラスの圧縮比

機種	口径	排気速度 N₂(l/s)	到達真空度 (Pa)	圧縮比 N₂	圧縮比 H₂	最大ガス流量 N₂(sccm)*	最大排気圧力 (Pa)	取付姿勢
ATP2300M	DN250	1950	＜6×10^-7	＞1×108	＞7×103	2200	210	自在

*: 環境温度、水量、水温など外部状況による

カスタマイズポンプ/スプリットフローポンプ

スプリットフローポンプ

1 台で、2 台以上の性能 → 省コスト、省スペース
お客様のニーズに合わせて、デザイン可能