TurboDisc MaxBright MHP GaN MOCVD マルチリアクター システム

業界最高レベルの生産性と設置効率を誇る LED 製造プラットフォーム

TurboDisc® MaxBright® MHP™ GaN MOCVD マルチリアクター システムは、新しいモジュール式の高性能システムであり、MaxBright M™ と同じ設置効率、保守性、およびレイアウト構成の利点を持ちながら、MaxBright より 20% も高いウエハ内波長均一性で優れた歩留まり率を提供します。 ハードウェアの進歩により高い歩留まり率が実現でき、その結果、全ウエハで高い波長均一性が得られます。

また、MaxBright MHP は、MaxBright よりも所有コストが低く抑えられます。 このシステムでは、複数の高スループット MOCVD リアクターを 2 台または4 台のリアクターから成るモジュール式クラスタ構成とすることで、生産実績のある Veeco の Uniform FlowFlange® テクノロジーと自動化の専門技術を活用しています。

この改良型リアクターは、幾多の実績を誇る Veeco K465i の設計を基に、ウエハ容量の拡大および独自の最先端クローズドループ温度制御技術を特徴としています。MaxBright プラットフォームの最近の受賞歴については、こちらをクリックしてください。

  • マルチリアクター構成により業界最高レベルの生産性および設置効率のプラットフォームを提供。
  • 20% もの高いウエハ内波長均一性の向上による高い歩留まり率。
  • MaxBright との比較で最大 15% の設置効率の改善。
  • 保守性向上及びレイアウト構成の改善により様々な生産拠点における多様な空間要求への対応可能。
  • シングル チャンバーまたはマルチ チャンバーでの膜成長が可能なシステム構成。
  • MaxBright M プラットフォームからのフィールド アップグレードが可能。