TurboDisc K465i GaN MOCVD システム

最高の生産性と同クラスで最高の収率

豊富な製造実績を誇る TurboDisc® K465i™ GAN MOCVD システムは、世界中の高輝度 LED 大量生産拠点で優れた生産性を提供しています。
K465i は、高い均一性と卓越したラRun to Run再現性により、最高 90%の収率(5nm bin)を達成します。 その全自動化機能と保守からの迅速な復帰も、高い生産性の要因となっています。

  • 業界最高水準の資本効率、最高レベルの生産性、そしてクラス最大の収率のすべてを実現。
  • 生産現場で実証された、高いスループットを提供する K465 プラットフォーム。
  • 新たな Uniform FlowFlange® テクノロジーの採用により、ウエハ内の均一性が極めて高く、プロセスの再現性も最高の水準。
  • 簡素化された設計により、迅速な生産認定およびメンテナンス後の迅速なリカバリーが容易。
  • メンテナンス コストの低い TurboDisc テクノロジーにより、最高のシステム可用性を実現。
  • 最低の所有コストで最大の収益性。