Optium ADS-800 先進ダイシング システム

LED デバイス、太陽電池、マイクロエレクトロニクスなどの多彩な用途で、高い生産性を備えたダイシング ソリューションを提供します。

拡大を続けるダイシング分野で 30 年の経験を積んできた Veeco 社は、生産性の向上を目指す挑戦的な用途に応えるべく、広範なプロセス ツールを提供しています。 Veecoは、より高い処理量と品質をもたらすプロセスのための専門的なソリューションを提供します。

  • 安定性が高く剛性のある鉄鋳物構造、複数ブレードの能力、および高性能空気軸受スピンドルが生み出す、優れた再現性の高い切断品質による、滑らかで高精度のモーション。
  • 最適化された高速のモーション位置調整が、パワフルなネットワーク制御技術による高速で効率的なダイシングサイクルと、単一または複数のブレードへのアプリケーション用の迅速な画像取得を実現。
  • 高性能スピンドル、特許権を有するツーリング、統合ブレードツルーイング、そして9インチまでの面積 をモニターするアクティブなソフトウェアによって実現される、要求の厳しいプロセス用に設計されたソリューション。

高性能スピンドル

これらのスピンドルは、低い調波、高い剛性およびトルク空気ベアリングを備えています。 Optium® ADS™-800 先進ダイシングシステムには、51mm~114mmのブレードサイズがあります。 スピンドルのセレクションには、単一および複数ブレードへのアプリケーションが含まれます。

オンライン ブレード ツルーイング - 多くの用途で重要な工程

  • ‘真円とはいえない’状態のブレードに起因する、ワークピースへのブレードのハンマリングを除去。
  • 複数ブレードアセンブリへのブレード外径振動を除去。
  • 薄いテープ、最小半径の溝およびその他用にブレード面の方形プロファイルを維持。