グリッド付き DC イオンソース

グリッド付き DC イオンソース

Veeco の DC イオン ビーム ソースは、円形状または直線形上で、取り付け、洗浄、メンテナンスが簡単です。

6cm×30cm 直流(DC)イオンソース

大型基板または大型基板のバッチ用リニア ソース

大型独立基板または大型基板のバッチを使用した、高い均一性と高信頼性を備えたイオン ビーム蒸着プロセス プラットフォーム向けとした、実績のあるリニア グリッド DC イオン ソースです。直線状または円筒形基板ホルダーに対するの優れたリソースです。

  • Veeco 社の世界有数の円形状イオン ビーム ソースと同じ革新的な設計、品質、および信頼性が特徴。
  • 均一なプラズマと高電流密度を実現。
  • ソースあたりの公称最大ビーム電流 500 mA まで 50 ~ 2000 eV の広範囲なビーム エネルギーに対応。
  • 電源オプションにより、800 mA までのビーム電流が可能。

SOLUS DC イオン ソース コントローラ

業界有数の Veeco DC グリッド イオン ソース用電源供給システム

Veeco の SOLUS™ DC イオン ソース コントローラは、最先端の高精度コントロール システム設計がなされているため、あらゆる種類のプロセスで信頼性が高く安定した電力をイオン ソース動作用に提供します。 統合電源モジュールおよび比率調整可能なガス流量制御により、要求の厳しいプロセス環境においても最適なイオン ソース制御が可能です。

  • 使いやすいワンボタン操作。
  • 手動、自動、およびリモートの動作オプション。
  • 最先端制御によるプラズマ安定性の向上。
  • 設定可能な統合ガス流量制御。
  • カスタマイズ可能な制御設定による適応ソース動作。
  • 時間短縮のためのトラブルシューティング機能。
  • 便利なイベント/ステータス ロギング画面。