SPECTORイオンビーム蒸着システム

精密光学薄膜用のターンキー製造

Veeco の SPECTOR® イオン ビーム蒸着 (IBD) 光学コーティング システムにより、高い精度と柔軟な薄膜プロセスが実現可能となります。

最先端の光学モニタリングシステムを備えたSPECTOR IBD光学コーティングシステムは、あらゆる光学薄膜製造アプリケーションイールドとデバイス性能のニーズにお答えします。

SPECTOR デュアルイオンビーム蒸着システム
  • 相互交換可能なプラットフォームで、平面、回転またはフィクスチャーに対応。
  • テレコムへアプリケーションに対応する200、100、および50 GHz DWDM フィルターの高歩留まり率を実現。
  • 狭い通過域、広い阻止帯域、急勾配や低挿入損失等、厳しいデバイス仕様に対応します。
  • ARコーティング、複雑な非1/4波コーティングおよび超低損失レーザーミラーを生成。
  • 数ppmレベルで吸収および発散するミラーを製作。
  • 高エネルギープロセスにより、よりよいパッキング密度および低ピンホール密度を実現。
  • 低圧操作により高膜純度を実現。
  • 優れた膜厚制御。
SOURCERER システム マネージャー

リアルタイムで装置内部をイメージ化したされた独自のグラフィック インターフェースを特徴とする SOURCERER® システム マネージャーは、市販のイオン ビーム システム制御パッケージよりも優れた制御と柔軟性を提供します。簡単なコマンドもしくは簡単にインポートされた薄膜設計を使い、プロセスエンジニアは、先端の自動レシピを開発してプロセスを開始し、完了したら戻ることができます。Veecoの豊富なプロセス知識を生かし、ベースで対応するサービス組織とともに、当社は、販売前、販売後の両方でお客様をサポートします。

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