SPECTOR-HT イオン ビーム蒸着システム

物理蒸着速度でのイオン ビーム光学膜

Veeco 社の SPECTOR-HT™ イオン ビーム蒸着システムは、高精度光学薄膜で最高クラスのスループットを提供することにより、これまでにない水準の生産性を実現します。 Veeco 社の実績実証済みのイオン ビーム蒸着技術を基礎とする SPECTOR-HT は、蒸着速度、ロット サイズ、およびターゲット利用率の向上をもたらし、プロセス時間を短縮します。 SPECTOR HT は、物理蒸着速度でイオン ビーム品質の光学膜を実現します。

詳しい仕様については当社までお問い合わせください。

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  • 最大 400% のシステム スループット向上。
  • 200% のロット サイズ増加。
  • プロセス時間の短縮。
  • ツール ジオメトリの最適化による材料の均一性向上。
  • 回転式固定器具上での光学的エンドポイントの制御による収率の向上。
  • 最大 300% のターゲット材料利用率の向上。
  • 2013 年度 R&D 100 賞を受賞。