NEXUS DLC-X 蒸着システム

耐腐食性TFMH被覆膜技術

VeecoのNEXUS DLC-Xシステムで、濃厚・均一で、再現可能なダイヤモンドライク カーボン(DLC)の薄膜を蒸着し、より長持ちするTFMHスライダーオーバーコートと着陸パッドを生み出します。

Nexus DLC-X は、sub-20A オーバーコートの厚さを可能にする業界初の生産価値のあるパルス式カソードアークソースを備え、旧世代に比べてよりよいプロセス収率を目ざし、段階被覆率の改善をサポートします。

  • 優れた均一性、再現性、およびパルス式カソードアークによる硬質な膜蒸着。
  • 長距離、低圧PVDにより、 濃厚でピンホールのないシリコンシード層を実現。
  • 反応性PVDプロセス能力。
  • 調整可能な低エネルギーNEXUS 420イオンビームエッチングソースにより、 75 ボルトから 300 ボルトへのビームエネルギーの安定操作が可能。
  • 傾斜エリプソメータで、エッチングおよび蒸着エンドポイント制御を促進。