下記4種類に大別されます。
1. 真空バルブ
2. 電子銃、イオン銃、蒸発源、電源
3. 流量計
4. その他部品(継手、フィードスルー、可動用部品など)
ここでは、真空バルブ、その他部品をご紹介致します。

真空バルブ

継手

その他

• 各種フィードスルー、真空関連部品を 取り扱っています。詳細はお問合せ下さい。