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ターボ分子ポンプとは高真空 (> 1 x 10-1Pa) が必要とされるアプリケーションで、 ロータリーポンプなどの粗排気ポンプと組合わせて使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。 高真空側に油を使用していないため、クリーンな真空が得られることができます。 ファイファーバキューム社製ターボポンプの特徴
HiPace-セラミックボールベアリングポンプ従来製品に対するアドバンテージ
標準仕様
*1: ベーキングなし 耐腐食性仕様
*1: ベーキングなし MagneticTurbo/磁気軸受けポンプ共通
標準仕様 / 耐腐食性仕様
HiPace MC
標準仕様
耐腐食性仕様
* 各種アクセサリーはこちら HiPace MC
*1: チャンバー 48 時間ベーキング後 (メタルシール使用 / 背圧 < 5pa) / DIN28428 カスタマイズポンプ/スプリットフローポンプスプリットフローポンプ
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