ターボ分子ポンプ [伯東株式会社] ファイファーバキューム / Pfeiffer Vacuum 製品情報

製品案内

ターボ分子ポンプとは

高真空 (> 1 x 10-1Pa) が必要とされるアプリケーションで、ロータリーポンプなどの粗排気ポンプと組合わせて使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。高真空側に油を使用していないため、クリーンな真空が得られることができます。

ファイファーバキューム社製ターボポンプの特徴

業界トップレベルの基本性能
→ 圧縮比、到達真空度、ガス流量など
使用環境に合わせて仕様選択可能

ドライブ回路搭載 (標準モデル)
省設置スペース、省ケーブル、省コスト
ドライブ回路 & 電源搭載タイプ
省設置スペース、省ケーブル、省コスト
ドライブ回路切離しタイプ
設置環境、設置スペースの自在性

アクセサリー類自動認識 (プラグ & プレイ)
面倒な配線作業などが不要
ワールドワイドサービス
日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能

ラインナップ ›
HiPace/セラミックボールベアリングポンプ
CompactTurbo/セラミックボールベアリングポンプ
※販売終了品/HiPaceをご検討願います。
MagneticTurbo/磁気軸受けポンプ
カスタマイズポンプ/スプリットフローポンプ

用途 ›
分析装置
半導体装置
加速器
核融合装置
その他

HiPace-セラミックボールベアリングポンプ

従来製品に対するアドバンテージ

取付姿勢自在
排気速度、圧縮比、ガス流量など基本性能を更に向上
起動時間の大幅短縮
推奨メンテナンスサイクル向上：25%アップ
各種規格に対応：RoHS、CE、UL(1部)、Semi
防塵、防水規格IP54適合

標準仕様

機種	ドライブ回路	口径	排気速度 N2(l/s)	排気速度 H2(l/s)	到達真空度 (Pa)	圧縮比 N2	圧縮比 H2	最大許容背圧(Pa)	取付姿勢
HiPace10	TC110	25KF/NW25	10	3.7	5.0×10^-3	3.0×106	3.0×102	2500	自在
HiPace80		40KF/NW40	35	38	>1.0×10^-5	>1.0×10¹¹	1.4×10⁵	2200
		63 ISO-K	67	48	5.0×10^-8 23
		63CF/ICF114
HiPace300		100 ISO-K 100CF/ICF152 100 ISO-F	260	220			9.0×10⁵	1500
	TC400							2000
HiPace400			370	460			4.0×10⁵	1400
HiPace700		160 ISO-K 160CF/ICF203 160 ISO-F	680	580
HiPace1200	TC1200	200 ISO-K 200CF/ICF253 200 ISO-F	1250	1100	1.0×10^-5	1.0×10⁸	6.0×10³	200	水平 or 逆水平
HiPace1500		250 ISO-K 250CF/ICF303 250 ISO-F	1450	1150
HiPace1800		200 ISO-K 200CF/ICF253 200 ISO-F	1450	1700			2.0×10⁴	180
HiPace2300		250 ISO-K 250CF/ICF303 250 ISO-F	1900	1850

*1: ベーキングなし
*2: チャンバー 48 時間ベーキング後 (メタルシール使用 / 背圧 < 5pa) / DIN28428
*3: ベーキング時は、水冷仕様推奨

耐腐食性仕様

機種	ドライブ回路	口径	排気速度 N2(l/s)	排気速度 H2(l/s)	到達真空度 (Pa)	圧縮比 N2	圧縮比 H2	最大許容背圧(Pa)	取付姿勢
HiPace 300C	TC400	100 ISO-K 100CF/ICF152 100 ISO-F	245	125	1.0×10^-5	1.0×106	3.0×102	100	水平 or 逆水平
Hipace 1200C	TC1200	200 ISO-K 200CF/ICF253 200 ISO-F	1250	1100	>1.0×10^-5	>1.0×10⁸	6.0×10³	200
HiPace 1500C		250 ISO-K 250CF/ICF303 250 ISO-F	1450	1150			6.0×10³	200
HiPace 1800C		200 ISO-K 200CF/ICF253 200 ISO-F	1450	1700			2.0×10⁴	180
HiPace 2300C		250 ISO-K 250CF/ICF303 250 ISO-F	1900	1850			2.0×10⁴	180

*1: ベーキングなし
*2: チャンバー 48 時間ベーキング後 (メタルシール使用 / 背圧 < 5pa) / DIN28428
*3: ベーキング時は、水冷仕様推奨
* 各種アクセサリーはこちら

CompactTurbo/セラミックボールベアリングポンプ
※販売終了品/HiPaceをご検討願います。

共通

取付姿勢自在 (オプション)
パージガスコネクション搭載 (一部オプション)

標準仕様

イージーメンテナンス → お客様にて消耗品の交換も可能(部位/機種による)

耐腐食性仕様

特殊コーティングのローター/ステーター

標準仕様

機種	口径	排気速度 N2 (l/s)	到達真空度 (Pa)	圧縮比 N2	圧縮比 H2	最大許容背圧 (Pa)	取付姿勢
TPD011	25ISO-KF (NW25)	10	< 5.0 ×10-3 *1	3.0×106	3.0×102	2500	自在
TMH / U 071P	40ISO-KF (NW40)	33	< 1.0×10-5 *1	> 1.0×1011	> 1.0×105	1800	自在 (オプション)
	63ISO-K	60	<5.0×10-8 2 3
	63CF (ICF114)
TMH261(P)	100ISO-K	210		> 1.0×109	> 1.4×104	1000
TMH262(P)						850
TMU261(P)	100CF (ICF152)					1000
TMU262(P)						850
TMH /U 521(P)	100ISO-K	290		> 1.0×1012	> 6.5×105	1300
	160ISO-K	510
	100CF (ICF152)	290
	160CF (ICF203)	510
TPH / U 1201P	200ISO-K	1250		> 1.0×108	> 6.0×103	200	180度 (もしくは逆さ180度 / オプション)
	200CF (ICF253)
TPH / U 1501P	250ISO-K	1450
	250CF (ICF303)
TPH / U 1801P	200ISO-K				> 2.0×104	180
	200CF (ICF253)
TPH / U 2301P	250ISO-K	1900
	250CF (ICF303)

耐腐食性仕様

機種	口径	排気速度 N2 (l/s)	到達真空度 (Pa)	圧縮比 N2	圧縮比 H2	最大許容背圧 (Pa)	取付姿勢
TPH / U 261PC	100ISO-K	175	< 1.0×10-6 2 3	> 1.0×107	> 3.0×102	100	180度
	100CF (ICF152)
TPH / U 521PC	100ISO-K	260
	160ISO-K	430
	100CF (ICF152)	260
	160CF (ICF203)	430
TPH / U 1201PC	200ISO-K	1250		> 1.0×108	6.0×103	200	180度 (もしくは逆さ180度/オプション)
	200CF (ICF253)
TPH / U 1501PC	250ISO-K	1450
	250CF (ICF303)
TPH / U 1801PC	200ISO-K	1450			> 2.0×104	180
	200CF (ICF253)
TPH / U 2301PC	250ISO-K	1900
	250CF (ICF303)

MagneticTurbo/磁気軸受けポンプ

共通

メンテナンスフリー
低振動
取付姿勢自在
オイルフリー

標準仕様 / 耐腐食性仕様

特殊コーティングのローター/ステーター

HiPace MC

ドライブ回路一体型、耐腐食性

標準仕様

機種	口径	排気速度 N2 (l/s)	到達真空度 (Pa)	圧縮比 N2	圧縮比 H2	最大許容背圧 (Pa)	取付姿勢
TMH / U 200MP	100ISO-K	180	< 5.0×10-8 1 2	> 5.0×1010	> 5.0×105	1200	自在
	100CF (ICF152)
TMH / U 400MP	160ISO-K	400			> 5.0×104	1300
	160CF (ICF203)
TMH / U 1000MP	200ISO-K	980		> 1.0×108	> 4.0×104	1100
	200CF (ICF253)
TMH / U 1600MP	250ISO-K	1400			> 1.0×104	1000
	250CF (ICF303)

耐腐食性仕様

機種	口径	排気速度 N2 (l/s)	到達真空度 (Pa)	圧縮比 N2	圧縮比 H2	最大許容背圧 (Pa)	取付姿勢
TMH1000MPC	200ISO-K	980	< 1.0×10-6 1 2	> 1.0×108	> 4.0×104	1100	180度 (もしくは逆さ180度/オプション)
TMU1000MPC	200CF (ICF253)
TMH1600MPC	250ISO-K	1400			> 1.0×104	400
TMU1600MPC	250CF (ICF303)

* 各種アクセサリーはこちら

HiPace MC

機種	ドライブ回路	口径	排気速度 N2(l/s)	排気速度 H2(l/s)	到達真空度 (Pa)	圧縮比 N2	圧縮比 H2	最大許容背圧 (Pa)	取付姿勢
HiPace2400MC	TM-3000	200 ISO-K 200CF/ICF253 200 ISO-F	2100	1800	< 1.0×10-7	> 1.0×109	> 1.0×104	300	自在
HiPace3400MC	TM-3000	320 ISO-F	2950	2850	< 1.0×10-7	> 1.0×109	> 4.0×104	200	自在

*1: チャンバー 48 時間ベーキング後 (メタルシール使用 / 背圧 < 5pa) / DIN28428
*2: ベーキング時は、水冷仕様推奨
* 各種アクセサリーはこちら

カスタマイズポンプ/スプリットフローポンプ

スプリットフローポンプ

1 台で、2 台以上の性能 → 省コスト、省スペース
お客様のニーズに合わせて、デザイン可能

ターボ分子ポンプとは

ファイファーバキューム社製ターボポンプの特徴

HiPace-セラミックボールベアリングポンプ

CompactTurbo/セラミックボールベアリングポンプ※販売終了品/HiPaceをご検討願います。

MagneticTurbo/磁気軸受けポンプ

カスタマイズポンプ/スプリットフローポンプ

CompactTurbo/セラミックボールベアリングポンプ
※販売終了品/HiPaceをご検討願います。