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真空とは
圧力が、大気圧より低い状態をさします。圧力の範囲は、15 桁以上にも及び、一般的に、下記のように分類されます。
低真空: ＞ 100(Pa)
中真空: 10-1Pa 〜 100Pa
高真空: 10-5Pa 〜 10-1Pa
超高真空: 10-5Pa
真空圧力換算表
| |
Pa |
bar |
mbar |
μbar |
Torr |
micron |
| N/m2 |
dyn/cm2 |
mm Hg |
μ,mTorr |
| Pa |
1 |
1×10-5 |
1×10-2 |
10 |
7.5×10-3 |
7.5 |
| bar |
1×105 |
1 |
1×10-3 |
1×106 |
750 |
7.5×105 |
| mbar |
100 |
1×10-3 |
1 |
1000 |
0.75 |
750 |
| μbar |
0.1 |
1×10-6 |
1×10-3 |
1 |
7.5×10-4 |
0.75 |
| Torr |
1.33×102 |
1.33×10-3 |
1.33 |
1330 |
1 |
1000 |
| micron |
0.133 |
1.33×10-6 |
1.33×10-3 |
1.33 |
1×10-3 |
1 |
| atm |
1.01×105 |
1.013 |
1013 |
1.01×106 |
760 |
7.6×105 |
| at |
9.81×104 |
0.981 |
981 |
9.81×105 |
735.6 |
7.36×105 |
| mmWS |
9.81 |
9.81×10-5 |
9.81×10-2 |
98.1 |
7.36×10-2 |
73.6 |
| psi |
6.89×103 |
6.89×10-2 |
68.9 |
6.89×104 |
51.71 |
5.17×104 |
| psf |
47.8 |
4.78×10-4 |
0.478 |
478 |
0.359 |
359 |
| |
atm |
at |
mmWS |
psi |
psf |
| lbf/inch2 |
lbf/ft2 |
| Pa |
9.87×10-6 |
1.02×10-5 |
0.102 |
1.45×10-4 |
2.09×10-2 |
| bar |
0.987 |
1.02 |
1.02×104 |
14.5 |
2.09×103 |
| mbar |
9.87×10-4 |
1.02×10-3 |
10.2 |
1.45×10-2 |
2.09 |
| μbar |
9.87×10-7 |
1.02×10-6 |
1.02×10-2 |
1.45×10-5 |
2.09×10-3 |
| Torr |
1.32×10-3 |
1.36×10-3 |
13.6 |
1.93×10-2 |
2.78 |
| micron |
1.32×10-6 |
1.36･10-6 |
1.36×10-2 |
1.93×10-5 |
2.78×10-3 |
| atm |
1 |
1.03 |
1.03×104 |
14.7 |
2.12×103 |
| at |
0.968 |
1 |
1×104 |
14.2 |
2.04×103 |
| mmWS |
9.68×10-5 |
1×10-4 |
1 |
1.42×10-3 |
0.204 |
| psi |
6.8×10-2 |
7.02×10-2 |
702 |
1 |
144 |
| psf |
4.72×10-4 |
4.87×10-4 |
4.87 |
6.94×10-3 |
1 |
|
