HTシリーズ

金、ボロン、コバルト、クロム、鉄、ニッケル、パラジウム、白金など、通常のK−Cellでは、蒸発しない様な高温材料用蒸着源です。

• 材料充填量:6cc or 12cc
• 最大加熱温度：2000℃
• 清浄な高温オペレーションが可能
• シャッター、水冷ジャケットを取付け可能
• 高信頼性、堅牢性

Sシリーズ、MUSOシリーズ

用途は、有機ELパネル用、有機ディスプレイ用等と幅広く、材料は有機材料、高融点金属等、各種材料に応じた坩堝及び蒸着源です。

• Cost of Ownership の実現：材料効率及び膜厚均一性を両立させるセルデザイン、膜厚の均一性向上によるイールドの向上
• 各種材料への対応： 　　
  • メタル系：アルミ(Al)、銀(Au)、フッ化リチウム(LiF)、金(Au)等
  • 有機材料系：AlQ3、Ir(ppy)3、BCP、α-NPD、Cu-Pc 等
• 各種材料及び装置形状に適した豊富な坩堝及び材料形状
• 水冷ジャケットやシャッター等、豊富なオプション

材料、蒸着源と基板の位置関係、蒸着レート、膜厚均一性、基板への熱負荷等をサイエンティストが考慮し、最適な蒸着源(セル)を提案いたします。