Brooks Automation Polycold Systems 独自の冷却サイクルにて、１台のコンプレッサーのみを用い、不燃性かつ安全な混合冷媒ガスの圧縮/膨張を繰り返すことにより、最大−160℃まで冷却を行います。

※注 ブルックスオートメーション社は、Polycold(Rマーク)製品に使用されているHFC冷媒の特許を保有しています。

・PFC (Polycold Fast Cycle water vapor cryopump) タイプ

チャンバー内の水分子（H2O）を超低温のクライオコイル（冷却用コイル）に吸着排気させる事により、従来の排気時間を25%〜75％短縮させる事が可能です。蒸着装置、スパッタ装置、イオン注入装置、ロールコーター、イオンミリング装置等、あらゆる真空装置に使用されています。（水分吸着用のクライオポンプです。）

・Pタイプ

水蒸気コールドトラップ用の冷却装置、油拡散ポンプのオイルバック防止用バッフルとして使用されています。液体窒素（LN2）よりも、はるかに安価なランニングコストで連続運転が可能です。

 

・PGC（Polycold Gas Chiller）タイプ

−60℃〜−120℃に冷却されたドライガスを、電子部品の検査、医療用冷却装置、 温度特性評価、ウェハーsの冷却、切削加工用の冷却など、お客様のニーズに合わせてご利用頂けます。

 

 

 

※注1 クライオコイル配管の長さ、形状により時間が異なります。
※注2 水冷の水温は表示温度が22℃〜26℃になるように調整して下さい。